目前氦检技术在空调两器生产中的应用情况

由于氦质谱检漏仪具有灵敏度高、反应快、度高、准确***、安全等优势，其它水检等检漏方法已逐步被取代。目前空调器生产用氦气做示踪气体的氦检漏方法包括吸法和真空箱检漏法。

吸氦检法是在工件内充入氦气，用氦质谱检漏仪的吸嘴在待检工件表面扫描，吸吸入的气体经节流后流入检漏仪质谱室，根据检出的氦气分压强的大小来判断漏孔的有无和大小。这种方法具有较高的精度。但它也有其明显的不足之处。①需要逐步检漏漏点，而空调器的焊点多达几百处，所以单独使用效率低；②吸法的精度与多种因素有关，如果吸与漏孔距离大于10mm时，所检漏率只有实际漏率的3~5%，如果吸的移动速度达到16mm/s，灵敏度将降到30%。由此可见，操作不当极易产生漏检；③吸法只能测单个漏点是否超标，而不能判断整体漏率情况。因以上几点不足，实际生产中，吸法一般配合真空箱法使用，当真空箱法检出不合格工件时，用吸法来找出不合格件的漏点所在。真空箱法是将充有氦气的工件放入箱内，然后对箱内抽真空，用氦质谱检漏仪探测真空箱内的氦气质量，推算出工件的实际氦漏率，该方法检漏便于迅速判断工件有无泄漏，可以称为“把关式”检漏法。在正常情况下，可以保证不漏检，真空箱设备的氦质谱检漏仪精度可以达到10-12Pa.m3.s-1(He)。实际生产中，由于考虑生产节拍（20~30秒），一般可以检漏率为4X10-7Pa.m3.s-1。相当于0.5g/年（R22的漏率），完全满足家用空调器的检漏需要。真空箱氦检法的缺点是不能发现工件的具体漏点，所以需增加吸法来找出不合格件的具体漏点。

背压法氦质谱检漏

采用背压法检漏时，首先将被检产品置于高压的氦气室中，浸泡数小时或数天，如果被检产品表面有漏孔，氦气便通过漏孔压入被检产品内部密封腔中，使内部密封腔中氦分压力上升。然后取出被检产品，将表面的残余氦气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内，被检产品内部密封腔内的氦气会通过漏孔泄漏到真空容器，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率测量。检漏仪给出的漏率值为测量漏率，需要通过换算公式计算出被检产品的等效标准漏率。

背压法的优点是检测灵敏度高，能实现小型密封容器产品的泄漏检测，可以进行批量化检测。

背压法的缺点是不能进行大型密封容器的漏，否则由于密封腔体容积太大，导致加压时间太长。此外，每个测量漏率都对应两个等效标准漏率，在细检完成后还需要采用其它方法进行粗检，排除大漏的可能。

背压法的检漏主要应用于各种电子元器件产品检漏

真空泄漏中的实漏、虚漏、外漏、内漏

实漏和虚漏

并非所有的抽气时间延长、极限压力下降都是因为泄漏，在使用检漏仪检漏前，有必要了解一下如何判断真空设备是否真的发生了泄漏。

真空腔室的内壁或腔室内壁附着的污染物，在真空下持续的释放出气体，这种现象被称为放气。当真空腔室内部存在死空间，并且该死空间通过一个狭长的通道与腔室内部连通时，死空间内的气体在真空下也会缓慢的释放出来，形成类似于放气或泄漏的现象，通常把这种现象叫做虚漏。

真实的泄漏可以通过检漏找到，放气也可以通过清洗真空腔体内表面而解决，而虚漏一旦产生，很难被发现，需要在设计和制造时尽量避免容易产生虚漏的结构或工艺，如上图中的螺纹连接（一定要用的话可以使用空心螺栓），很长的狭缝或毛细管，两侧满焊的腔体焊接（较厚的壳体建议真空侧满焊大气侧断续焊）等等。

外漏和内漏

我们平时所讲的泄漏一般是指外漏，即从真空腔体或管道的外部向内部泄漏；而内漏是指两个本应隔离的真空腔室之间，通过阀门隔离的两段真空管道之间，或真空腔室与管道之间，发生了泄漏。

罗茨泵上方的阀门在高真空时应该是关闭的，如果该阀门关闭不严，高真空时气体就会从阀门的下面向右侧泄漏，这种泄漏就是内漏。和外漏类似，内漏也会造成高真空抽气时间延长、极限真空变差等问题。

外漏可以方便地通过检漏仪直接找到，而内漏却只能通过分段保压等方式做预判断，然后拆掉的阀门一侧的管道，然后再进行检漏（或者在阀门的一侧连接检漏仪，向另一侧的管道内充入氦气进行检漏）。