真空箱氦检漏回收设备的基本原理描述如下:灯丝产生的热电子加速流入阳极，遇到气体分子后电离。当离子向收集器方向运动时，设置一个磁场，使离子在洛伦兹力的作用下沿圆形轨迹运动。质量为m、电荷为e的离子的圆轨道半径与质荷比m/e有关。适当设置出气口的位置，使m/e=4，即He+可以通过出气口，而与氦不同质荷比的其他离子不能通过出气口。由于其偏转半径与仪器的狭缝设置不同，真空箱的氦检漏回收装置只能检测一价氦离子。真空箱氦气检漏回收装置性能稳定，灵敏度高。评价真空箱氦气检漏回收设备的主要指标是灵敏度、反应时间、清除时间、工作真空度、

不锈钢箱体焊缝预检漏（空箱检漏），一般根据每批合同箱体结构具体情况而定充气柜带来许多优势，其大优势是不易受外界环境的影响：如凝露、污秽、小动物及化学物质等。另一个优势是因为使用压缩气体绝缘(如sf6、n，或空气)，有利于向小型化方向发展。充气柜检漏设备发生泄漏的主要原因：生产工艺不良，外壳上有砂眼，密封材料质量欠佳；现场安装质量不高。

充气柜的设计为变压器的保护提供了两种选择： 负荷开关—熔断器组合电器和具有继电保护的断路器。充气柜在装配过程中需要先将气箱内的一次元件及铜排先安装完成，然后进行焊接密封，焊接完成后使用氦气检漏装置进行测试，合格后再冲入SF6混合气体。充气柜检漏对于高压和超高压设备，为降低柜体内微水量，可采用继续保压6-10小时继续抽真空，来降低微水值。