为了方便说明真空检漏方法，我们以真空炉为例进行真空检漏。真空炉主要由机械泵、罗茨泵、扩散泵、前级管路、炉体等几部分组成，真空炉的生产中为常见问题是极限压力合格，而升压率不合格，或者是两者都不合格，比较少见的是升压率合格但极限压力不合格。

1. 极限压力合格，升压率不合格

极限压力合格说明设备没有明显漏点，且真空系统的抽气性能正常。升压率不合格，主要原因是从粗抽阀到炉体有一些较小的漏点，通常在1×10-9~9.9×10-4Pa·m3/s之间。检漏步骤为：

①用力按压气袋从粗抽阀开始向炉体方向喷吹氦气，遍针头移动的速度可以快些，对设备的全部焊口、法兰连接、动密封、热电偶连接等处进行检漏，在焊口不规整及法兰连接缝隙不均匀处将喷吹移动速度放缓并进行细致检查。

②不按压气袋，用针头缓慢地对位置进行检查，漏孔会吸入针头中存有的少量氦气，观测检漏仪屏幕漏率值喷吹过程中的变化，找到漏率大且上升快的点即是漏点。

③向各个加热电极、炉体水套等通水腔体内喷吹氦气检查泄漏情况。若检漏多遍后升压率仍不合格，可以用塑料布、胶带对的焊口、法兰连接处、热电偶、电极等处进行包裹罩封，然后向罩中喷入氦气，观察检漏仪的漏率变化，如果缓慢上升，说明被包裹的位置存在漏点。

真空箱氦检漏系统

性能特点：

高灵敏度小可检漏率:5x10-12Pa-m3/s,R22:0.1克/年。

干式检漏,检漏后试件无需进行干燥。

全自动压力监测,系统自动补充高纯氦气。

氨气回收率高达98%以上

。 多***工位和管路设计, (两箱/三箱)交替工作。

微电脑控制,全自动检测,避免产生误检和漏检。

人机交互界面,实时监测及诊断。

自动判断,声光提示。

输出设备,全数字显示检测结果。

,系统采用配置 确保,自动故障检测。

可实现远程监控 统计分析 打印标签等功能。

高密封性能

专门设计工装夹具,满足氦检漏工艺的密封要求。

汽机真空系统检漏方法

打压法：充压法原理基本与法一样，往凝汽器系统注入大气正压，用涂抹肥皂水的办法，查遍所有的可以漏点。缺点是，费时费力。主观性强。检漏效果受气候温度适度影响。必须停机。

打压法，可以说也不适用于空冷岛的检漏。检漏时需要停机。采用肥皂气泡的涂抹，用刷子涂抹肥皂液体，仔细查看，如有泄漏点将会产生气泡。空冷岛检漏面积大、死角多。又遇有风大，夜间，寒冷天等环境下，这个办法劳动量太大，不可能普遍查到所有死角。需搭设架，耗费时间人力大，而且死角太多，延长停机时间。