氦质谱检漏仪的发展史必须追溯到上个世纪初。早在1918年期间，欧洲***因和的需要就开始接触检漏，并开始对检漏手段的提升做了大量的基础研究工作，直到1941年，当时，科学家获知德国正在研制一种新型。这种的原理就是基于刚刚发现的铀的同位素的裂变现象。罗斯福认为必须抢先达到此目的，加之第二年的珍珠港事件加速诞生了“曼哈顿”计划。这个计划的两个目标之一就是研制（即）。为此，必须研制超高灵敏的检漏仪。其原因还得从的浓缩谈起。

天然铀中含有铀238和两种同位素。能够发生裂变反应的同位素是，是的主要原料。可是天然铀中的含量仅0.7%。为此，科学家只能采用气体扩散法，从铀238中把含量甚微的分离出来。气体扩散法分离时铀238的原理是这样的：若有一个极其微小的孔隙， 部分气体分子通过这个微孔的速率取决于它们的分子量。分子量小的气体分子能够较快的通过这些微孔。如果让混合气体通过由多孔膜形成的长管，就可以成功地把两种气体分离。

氦质谱检漏仪故障与处理

检漏仪内部泄漏

(1)内部的密封结构

当检漏仪内部存在泄漏时，会对检漏工作造成较大干扰，容易造成误检、误判。 检漏仪内部主要的密封部位在检漏仪的后侧，位于隔热板的上方：①检漏仪测试口与阀门组块的连接部位，密封方式采用胶灌密封，检漏仪在运输过程中如遇到强烈震动，此处容易造成密封胶开裂。②各电磁阀与阀门组件间的连接部位。密封方式采用氟橡胶圈或金属垫片密封，橡胶圈的密封寿命有限，使用5 年以上时，有可能会存在密封失效的问题。③各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的金属垫片密封或橡胶圈密封。

氦质谱检漏仪运用行业的发展

（1）电力行业SF6高压开关与氧化锌避雷器是发电厂及旷野输变电的必要构成一部分，时时因透露造成大面积或局部停电，影响家打造生产，又故障人们的正常生活生计。因此带来的经济流失无意是难以估计的。

①低压开关在连箱是铝铸件，经常简单有砂眼，且漏孔***芜杂，不易清洗。一般采纳检漏盒或氦罩法，即把被检件抽真空，尔后向罩内充入氦气，等候定然工夫，必然总漏率的大小。因氦气的用量小，检测灵敏度就高。

②腐蚀锌避雷器，是依照电压高低申请，采用差别截面积、不合厚度和一致数量的侵蚀锌片，装在瓷套中，充入氮气后密封。其任务情理是在高压输出中如遇雷击，侵蚀锌片电阻变小，大电流对地短路，输电旅程被珍爱。假设透露造成表里不有压差，内部潮湿气体有大概进入，而破不好腐蚀锌片共性，造成。

③电力行业中，电厂的检漏、低压变压器、低压电容器、低压开关管及其他元器件也都响应的采纳氦质谱检谱检漏仪，用一致法子进行检漏。

（2）电子行业微波发射管、电子管、晶体管、集成电路、密封继电器、各类传感器、心脏起博器。

（3）真空行业，仪器、仪表行业管道、探讨、阀门、涟漪管、各类真空泵、各类排气机组、电镜、质谱仪、电子束离子速***机、激光轴会萃器、高能、加快器、辐照加快器、镀膜机、薄膜真空计,盐雾试验箱。

（4）核出产业铀云散摆设、存储摆设、核发电摆设。

（5）制冷行业冰箱、空调、化锂制冷机组、汽车用空调、蒸发器、冷凝器、夺缩机、低温储槽。

（6）不锈钢保温器皿真空保温杯、瓶、锅、饭盒等。