氦质谱检漏真空系统电气部分

除了主机供电部件和主机控制部件，还有几组主要电路：

1）离子源电源。为离子源提供加速、聚焦、拒斥电压。

2）发射电流稳定电路。稳定和调节发射电流。

3）离子流放大器和音响报警器。将离子流进行放大并将输出信号送入输出仪表或显示器和音响报警器。

4）真空测量电路。一般用热偶计测量低真空，用冷阴极磁控入电真空计测量高真室。

5）灯丝保护电路。当质谱室正常工作压力被***后，立即切断灯丝供电回路，以保护灯丝。

6）其他电路。不同型号的检漏仪所具有的功能不尽相同，所以电路也有不少差加，这在各自的说明书中都有说明，这里不同赘述。

氦质谱检漏仪性能试验方法

反应时间、清除时间及其测定

反应时间是指仪器节流阀完全开启，本底讯号为零(或补偿到零)时，由恒定的氦流量使输仪表讯号上升到大值的(1-e-1)倍(即O. 63)所需要的时间，记为τR。清除时间是指输出仪表讯号稳定到大值后，停止送氦，其讯号下降到大值的e-1倍(即O.37)所需要的时间，记为τC。

工作真空、极限真空及入口处抽速

质谱室极限真空，尤其是工作真空及入口处抽速是表征仪器性能的重要参数。利用检漏仪的真空规可以测定仪器的极限真空和工作真空。利用流量计可测定仪器入口处抽速。

氦质谱检漏仪调氦峰步骤

调氦峰在更换灯丝后及每天开始检漏前检查氦质谱检漏仪灵敏度达不到要求时进行。

1、调氦峰方法：

开漏孔开关，单方向(从75~165V或从165~75V)调加速电压“V”，使氦质谱检漏仪放大器输出表指示值出现一个Zda值，然后关漏孔开关，如表头指示值变小，说明氦质谱检漏仪接收到氦信号，即找到氦峰;如表头指示值不变，说明不是氦峰，则继续调“V”，直到找到氦峰(出现氦的“V”一般在85~150V之间)。

2、调氦峰分辨不好：

①氦和重离子分辨差。

②氦和轻离子分辨差。

3、调氦峰信号小：

①灯丝没正对电离盒上的电子入口。

②灯丝离电离盒太远。

③分辨不好。

④灯丝质量差(受油蒸汽污染或本身发射能力低)。