为了方便说明真空检漏方法，我们以真空炉为例进行真空检漏。真空炉主要由机械泵、罗茨泵、扩散泵、前级管路、炉体等几部分组成，真空炉的生产中为常见问题是极限压力合格，而升压率不合格，或者是两者都不合格，比较少见的是升压率合格但极限压力不合格。

1. 极限压力合格，升压率不合格

极限压力合格说明设备没有明显漏点，且真空系统的抽气性能正常。升压率不合格，主要原因是从粗抽阀到炉体有一些较小的漏点，通常在1×10-9~9.9×10-4Pa·m3/s之间。检漏步骤为：

①用力按压气袋从粗抽阀开始向炉体方向喷吹氦气，遍针头移动的速度可以快些，对设备的全部焊口、法兰连接、动密封、热电偶连接等处进行检漏，在焊口不规整及法兰连接缝隙不均匀处将喷吹移动速度放缓并进行细致检查。

②不按压气袋，用针头缓慢地对位置进行检查，漏孔会吸入针头中存有的少量氦气，观测检漏仪屏幕漏率值喷吹过程中的变化，找到漏率大且上升快的点即是漏点。

③向各个加热电极、炉体水套等通水腔体内喷吹氦气检查泄漏情况。若检漏多遍后升压率仍不合格，可以用塑料布、胶带对的焊口、法兰连接处、热电偶、电极等处进行包裹罩封，然后向罩中喷入氦气，观察检漏仪的漏率变化，如果缓慢上升，说明被包裹的位置存在漏点。

汽轮机真空系统查漏范围

汽轮机真空系统相关的设备、部位较为繁杂，且现场分布广，部分设备、部位的安装位置差，影响真空泄漏点的查找。应根据机组的自身特点及具体的泄漏程度，从以下各方面或有***地开展检漏工作。

（1）低压缸部分:低压外缸中分面、人孔门、防爆膜及前、后轴封等。

（2）给水泵汽轮机部分:给水泵汽轮机中分面、人孔门、防爆膜、轴封及排汽管上的排汽蝶阀、法兰面、波纹膨胀节等。

（3）凝汽器及相连的负压系统:凝汽器本体,与凝汽器本体相连的低压旁路、三级碱温器,各疏水扩容器，低加、轴加，低加进汽管及真空***门、水位计、联箱等设备及附属管路、阀门等141。

（4）凝结水泵及人口区域:凝结水泵的轴端机械密封损坏或轴端密封水工作异常，或人口区域阀门、滤网、波纹膨胀节等泄漏，造成凝结水溶解氧含量超标。

（5）微正压部位:中低压连通管法兰、膨胀节，部分低压加热器及相应的疏水、排气管道等部位，在低负荷时会呈现负压状态，导致空气被该区域的泄漏点吸人。

如何判断真空系统是否存在真实的泄漏

压降曲线分析

真空系统的历史数据是了解大型真空系统性能的有价值的工具之一，经验丰富的技术人员会精心地保留历史数据，通过将当前的压降曲线与系统处于良好状态时的上一个循环进行比较就可以快速的判断问题原因。比如，通过下图所示的压降曲线，就可以判断是否存在泄漏。

工艺条件不变并且真空泵运行正常的情况下，如果存在真实的泄漏，从外部漏入腔室的气体将导致腔体的压力下降到比正常极限压力偏高的位置时便不再下降或下降极慢，压降曲线类似于上图上方曲线。存在放气或虚漏时，气体缓慢释放并且放气率越来越小，系统能达到原来的极限压力但是达到极限压力的时间明显变慢，压降曲线与上图中间那条曲线类似。

真空泄漏中的实漏、虚漏、外漏、内漏

外漏和内漏

我们平时所讲的泄漏一般是指外漏，即从真空腔体或管道的外部向内部泄漏；而内漏是指两个本应隔离的真空腔室之间，通过阀门隔离的两段真空管道之间，或真空腔室与管道之间，发生了泄漏。

罗茨泵上方的阀门在高真空时应该是关闭的，如果该阀门关闭不严，高真空时气体就会从阀门的下面向右侧泄漏，这种泄漏就是内漏。和外漏类似，内漏也会造成高真空抽气时间延长、极限真空变差等问题。

外漏可以方便地通过检漏仪直接找到，而内漏却只能通过分段保压等方式做预判断，然后拆掉的阀门一侧的管道，然后再进行检漏（或者在阀门的一侧连接检漏仪，向另一侧的管道内充入氦气进行检漏）。