氦质谱检漏真空系统电气部分

除了主机供电部件和主机控制部件，还有几组主要电路：

1）离子源电源。为离子源提供加速、聚焦、拒斥电压。

2）发射电流稳定电路。稳定和调节发射电流。

3）离子流放大器和音响报警器。将离子流进行放大并将输出信号送入输出仪表或显示器和音响报警器。

4）真空测量电路。一般用热偶计测量低真空，用冷阴极磁控入电真空计测量高真室。

5）灯丝保护电路。当质谱室正常工作压力被***后，立即切断灯丝供电回路，以保护灯丝。

6）其他电路。不同型号的检漏仪所具有的功能不尽相同，所以电路也有不少差加，这在各自的说明书中都有说明，这里不同赘述。

氦质谱检漏仪故障与处理

检漏仪内部泄漏

***方法

采用喷吹法对各密封部位的气密性进行检测，因检漏仪内部结构紧凑，各密封结构间的距离很近，检测时***难度较大。经摸索，在检测时采用以下技巧，可提高***的能力：①查漏前，先将分子泵风扇的电源断开，避免风扇将氦源吹散至各个密封环节，造成***不准确。②喷吹时，要严格控制氦源的流量，尽量采用喷咀流量小的喷，提高***的能力。③仪器的反应时间小于1 s，所以在一个部位喷吹的时间约3 s，再等待约3 s 后观测信号有无变化。

氦气检漏系统本身检测产品的密封性能。与传统的防水检测方法和氦气检测方法相比，具有以下优点:

1.:由于水的粘度大于气体的粘度，与传统的泡水检测方法相比，气密性检测速度快，产品不需要干燥，所以。

2.安全无污染:泡水检测会污染产品，容易间接腐蚀产品。

3.操作简单:气密性检测仪与氦气检漏或泡水检测法相比，无需操作者过多的肢体动作或长期训练，即可掌握操作方法，操作起来像个傻子。

4.成本低:与氦检漏仪相比，只需要干净的压缩气体代替氦气；传统的泡水检测方法检测产品需要几分钟左右，而气密性检测仪检测产品只需要几秒到十秒，可以节省大量的人力成本、材料成本和时间成本。

5.可靠性高:检漏仪采用微电脑控制系统，由微电脑根据设定值自动判断检测结果，结果可靠。传统的泡水方法由于人眼的疲劳和操作者思维的开小差而不客观。