背压法氦质谱检漏

采用背压法检漏时，首先将被检产品置于高压的氦气室中，浸泡数小时或数天，如果被检产品表面有漏孔，氦气便通过漏孔压入被检产品内部密封腔中，使内部密封腔中氦分压力上升。然后取出被检产品，将表面的残余氦气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内，被检产品内部密封腔内的氦气会通过漏孔泄漏到真空容器，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率测量。检漏仪给出的漏率值为测量漏率，需要通过换算公式计算出被检产品的等效标准漏率。

背压法的优点是检测灵敏度高，能实现小型密封容器产品的泄漏检测，可以进行批量化检测。

背压法的缺点是不能进行大型密封容器的漏，否则由于密封腔体容积太大，导致加压时间太长。此外，每个测量漏率都对应两个等效标准漏率，在细检完成后还需要采用其它方法进行粗检，排除大漏的可能。

背压法的检漏主要应用于各种电子元器件产品检漏

钢桶真空箱检测系统介绍

1、特点

（1）干式检漏

（2）传送机构，提升机构，不合格件分拣机构的可靠性

（3）检测结果准确，

（4）传送机构确保工件自动运送至待检工位并自动***

（5）特殊的真空箱底盘设计确保钢桶在检测过程中不产生形变

（6）特殊的真空箱顶部压紧机构确保工件在检测过程中不产生形变及压痕

（7）真空系统设计可靠，抽速快，低本底，氦质谱检测时间充足

（8）检测结束后，工件自动移出待检工位

2、钢桶检测的关键技术参数

（1）工件外形尺寸

（2）真空箱内腔尺寸

（3）检测工位数

（4）检测节拍

（5）检测精度

（6）数据存储

真空氦检技术在钢桶气密性检测中的应用

一、漏率的含义

漏率的概念及单位：漏率也叫漏气速率，是指处于压差下的气体，在单位时间内通过漏孔流向低压端的气体量。Q=Δ(P·V)/ΔT常用的漏率单位：毫巴·升/秒 mbar·l/s；帕·立方米/秒 pa·m3/s。

二、几种工业上的气体检漏方法

1、水泡法

这是钢桶标准的测漏试验方法。这种方法只适用于钢桶的型式检验，不适合钢桶的在线检测，因为检测时间长、效率低、劳动强度大、可靠性低。

2、正压压降法

向被检工件充入一定压力的气体，稳压一段时间,如果工件上有漏孔，气体会从漏孔漏出，工件内的压力会下降，用压力传感器检测工件内的压力变化ΔP，工件漏率大小：

正压压降法-特点及应用：

优点：提供清晰的检测结果；干式检测；设备成本相对便宜；检测过程的操作不依赖与操作者的经验。

汽机真空系统检漏方法

空气泄漏造成危害很大，必须采取一些手段在停机和运行时都要进行查找，消除漏点，提高真空。以下是几种常见的检漏手段。

（1）找漏：当停机时，在条件允许的情况下，向凝汽器，然后查找泄漏的地方，发现漏点及时修补处理，处理之后需要再次找漏。找漏的缺点是，必须在停机，而且是在冷态时检漏。另一个缺点是，查漏不完全。那些只有膨胀压力下才有的泄漏，办法找不到漏点。

检漏，不适用于空冷岛检漏。