双工位氦检漏系统构成

（1）粗抽机组：一般采用旋片泵或者滑阀泵作为粗抽真空使用，获得从一个大气压到千帕级真空，并为后续精抽真空作准备。

（2）精抽机组：一般采用罗茨泵作为精抽真空使用，获得检漏要求的真空，一般为5Pa左右。

（3）检漏仪：是检漏系统中的部件，检漏仪执行检漏工作时，给出工件***量大小，并判断工件是否合格，输出控制信号。

（4）耐压测试单元：通过向工件内充注高压气体，一方面测试工件的耐压性能。另一方面通过平衡、保压过程，有传感器感测压力差，并由控制系统经过计算分析判断是否有大漏。

（5）工件抽空单元：为保证氦气有循环过程中氦气的纯度，在向工件充注氦气之前，抽出工件内的空气。

氦质谱检漏仪工作原理

氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作探索气体制成的气密性检测仪器。

灯丝热发射出来的电子经加速进入电离室，在电离室内与残余气体分子和经被检件漏孔进入电离室的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于受到磁场力（洛伦兹力）的作用产生偏转，形成圆弧形轨道。

真空箱法检测特点优点：灵敏度高；检测结果明确；自动检测，不依赖操作者经验；干式检测；节拍快，技术成熟。缺点：初始成本投入高；在正常的检测循环中不能确定漏孔位置。

标准漏孔的概念及作用标准漏孔的概念

（1）标准漏孔是一个在给定条件下能向真空系统内提供已知的气体流量的装置；

（2）标准漏孔是用来校准检漏仪的灵敏度和标定检出漏孔的大小的一种装置；

（3）标准漏孔与检漏仪的关系：如果把检漏仪看成是天平，则标准漏孔就是砝码。标准漏孔在真空箱法氦质谱检测中的应用：（1）用于检漏仪校准；（2）用于系统校准以及系统灵敏度变化的日常检查。

真空泄漏中的实漏、虚漏、外漏、内漏

动态泄漏

真空系统中有运动传递的地方会采用动密封，这些动密封结构，很有可能在静态的时候密封良好而运动的时候产生泄漏；比如采用橡胶轴封做动密封（阀杆与阀体之间）的阀门，就比较容易发生这种现象。这种现象发生的概率不高，不过由于检漏时阀门一般是处于打开或关闭的某一个状态，这种动态泄漏很难被发现。

对于非常关键的工艺，选择波纹管密封的阀门可以大大减小出现动态泄漏的概率；如果选用的还是轴封做密封的阀门，在检漏时，向阀杆位置喷氦的同时，操作阀门进行动作，也可以很快地判断该阀门是否存在动态泄漏。

值得注意的是，真空腔体检漏的要求较高，不仅需要操作者具备扎实的基础知识、丰富的操作经验，而且现场情况也复杂多变。因此，出现问题，好寻求公司人员的帮助。

真空高低的原理分析及试验断定

对于汽轮机来说，真空的高低对汽轮机运行的经济性有着直接的关系，真空高，排汽压力低，有效焓降较大，被循环水带走的热量越少，机组的效率越高，当凝汽器内漏入空气后，降低了真空，有效焓降减少，循环水带走的热量增多。通过凝汽器的真空严密性试验结果，可以鉴定凝汽器的工作好坏，以便采取对策消除泄漏点。

因真空系统的漏空气量与负荷有关，负荷不同，处于真空状态的设备、系统范围不同，凝汽器内真空也不同，漏空气量也不同，而且相同的空气漏量，在负荷不同时真空下降的速度也不一样。为此，***规定，做真空严密性试验时，负荷应在80%额定负荷（有的机组是在额定负荷）下进行。真空下降速度小于0.4kpa/min为合格，超过时应查找原因。另外，在试验时，当真空低于87kpa，排汽温度高于60℃时，应立即停止试验，***原运行工况。