氦质谱检漏仪在电子行业体现在如下几个方面：

微波发射管、电子管、晶体管、集成电路、密封继电器、各类传感器、心脏起博器。

（4）真空行业，仪器、仪表行业

管道、接头、阀门、波纹管、各种真空泵、各类排气机组、电镜、质谱仪、电子束离子速暴光机、激光轴分离器、、快速器、辐照快速器、镀膜机、薄膜真空计。

（5）核工业

铀分离装置、存储装置、核发电装置。

（6）制冷行业

冰箱、空调、化锂制冷机组、汽车用空调、蒸发器、冷凝器、压缩机、低温储槽。

（7）不锈钢保温器皿

真空保温杯、瓶、锅、饭盒等。

（8）核工业、航空工业、航天工业、船舶工业、工业、电子六大类

质谱检漏仪通常选择氦气作示踪气体，主要原因如下：

（1）氦在空气中及真空系统残余气体中的含量少（在空气中约含5×10-6），在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小。正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，亦即本底噪声也就小，因此微小漏率也就能反应出来，灵敏度高。

（2）氦的质量小（相对分子质量为4），易于穿过漏孔。这样，氦较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大，容易发现，灵敏度高。

（3）氦是惰性气体，不与被检件器壁起化学反应，不会污染被检件，使用安全。

（4）在氦两侧的离子是氢（质荷比为2）和双电荷原子碳（质荷比为6），质荷比都与氦相差较大。这样，它们在分析器中的偏转半径相差也大，容易分开，调氦峰时，不易受其他离子的干扰，因此就降低了对分析器制造精度的要求，易于加工。同时，分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大，使更多的氦离子通过，提高了仪器灵敏度。

（5）氦在被检件及真空系统中不易被吸附，容易被抽走。这样检出一个漏孔可以使氦信号迅速消失以便继续进行检漏，提高了仪器的检漏效率。

氢气有些性能（如质量小、易通过漏孔）比氦还好，然而由于氢一方面有***，另一方面在油扩散泵中，由于油受热裂解会产生大量的碳和氢，使氢本底极高且波动大，以致灵敏度大大降低，所以很少采用。

质谱检漏仪仪器的小可检漏率

当仪器处于佳工作条件下，以一个大气压的纯氦气作示漏气体进行动态检漏时所能检出的的漏孔漏率，称为仪器可检漏率，用Qmin表示。

（1）所谓佳工作条件，是指被检件出气和漏气都小，它与检漏仪连接后不会影响检漏仪质谱室的正常工作，因此不需加辅助泵。同时，检漏仪的参量也调整在佳工作状态，这时检漏仪能发挥其性能。

（2）所谓动态检漏，是指检漏时，检漏仪的真空系统仍在对质谱室进行抽气，且仪器的反应时间不大于3s的情况。

（3）所谓小可检，是指检漏仪输出仪表上可以观察出来的微小的指示变化，即小可检信号。这个小可检信号主要受无规律起伏变化的仪器的本底噪声和漂移所限制。本底噪声是由于仪器各参数的不稳定引起的，例台电源电压变化、真空度变化、发射电流变化、加速电压变化、放大倍数变化、外界电磁场干扰等都会引起输出仪表的不稳定摆动。漂移被认为是由于电子学上的原因引起的。如果漏入的氦气产生的输出指示的变化小于噪声和漂移之和，就很难判断究竟是漏气信号还是噪声和漂移指示，因而噪声和漂移值也就成为能否判断出漏气信号的关键值。