扫描电镜的电子束轰击试样

当扫描电镜的电子束轰击试样表面时，电子束会进入试样内部，产生散射现象，电子束在散射后会改变前进方向，而且还会损失部分能量，随之而来产生各种其他信息，如热、俄歇电子、X射线、可见光、二次电子、背散射电子等。

当入射电子与试样相互作用后，其中有一部分电子会返回表面逸出，则这部分被返回表面逸出的原入射电子被称为背散射电子。在实际成像过程中，通常以能量大小对电子信息进行分类，能量大于50eV而小于入射束能量E0的电子称为背散射电子，大部分背散射电子的能量约为原入射能量E0的0.7～0.9倍。利用背散射电子来成像所获得的图像称为背散射电子像。背散射电子像在电镜成像中的使用率和图像的分辨力也都比较高，仅次于一次电子像。

半导体器件(IC)研究中的特殊应用

在半导体器件(IC)研究中的特殊应用：

　　1)利用电子束感生电流EBIC进行成像，可以用来进行集成电路中pn结的***和损伤研究

　　2)利用样品电流成像，结果可显示电路中金属层的开、短路，因此电阻衬度像经常用来检查金属布线层、多晶连线层、金属到硅的测试图形和薄膜电阻的导电形式。

　　3)利用二次电子电位反差像，反映了样品表面的电位，从它上面可以看出样品表面各处电位的高低及分布情况，特别是对于器件的隐开路或隐短路部位的确定尤为方便。

　　4、利用背散射电子衍射信号对样品物质进行晶体结构(原子在晶体中的排列方式)，晶体取向分布分析，基于晶体结构的相鉴定。

未来需求超过台式扫描电镜性能的担忧

扫描电镜使用是否是经常性的且需求明确的?如果是这样，台式扫描电镜可以就提供所需的信息，为什么要花费更多?关于未来需求超过台式扫描电镜性能的担忧，应该根据潜在需求的确定性和时机，以及对更高要求应用的外部资源可用性来评估。即使未来需求超过台式扫描电镜能力，台式扫描电镜的初始***也可以继续提供回报，因为该系统可用于补充未来的落地式扫描电镜系统，如筛选样品或继续执行日常分析，落地式扫描电镜应用于要求更高的应用。

台式扫描电镜主机集成高压及控制系统

台式扫描电镜主机集成高压及控制系统，体积小巧，便于移动，可出差携带，安装无需特殊环境，只需找一张桌子，供电就可工作。扫描电镜照片是灰度图像，分为二次电子像和背散射电子像，主要用于表面微观形貌观察或者表面元素分布观察。一般二次电子像主要反映样品表面微观形貌，基本和自然光反映的形貌一致，特殊情况需要对比分析。背散射电子像主要反映样品表面元素分布情况，越亮的区域，原子序数越高。