扫描电镜广泛应用于许多学科领域
台式扫描电镜在材料科学、金属材料、陶瓷材料半导体材料、化学材料等领域,进行材料的微观形貌、***、成分分析,各种材料的形貌***观察,材料断口分析和失效分析,材料实时微区成分分析,元素定量、定性成分分析,快速的多元素面扫描和线扫描分布测量,晶体/晶粒的相鉴定,晶粒尺寸、形状分析,晶体、晶粒取向测量。
扫描电镜具有高分辨率,景深大,立体感强,放大倍数可调等优点,因此广泛用于半导体,无机非金属材料和器件的检测。除了时间和费用外,它还对电子显微镜的操作者产生了束缚,是研究微观世界的重要工具之一。它为人们提供了研究纳米尺度物质结构的有力手段,已广泛应用于许多学科领域,例如材料科学和质量过程控制
扫描电子显微镜观测电畴
扫描电镜的优点:
①有较高的放大倍数,2-20万倍之间连续可调;
②有很大的景深,视野大,成像富有立体感,可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构;
③试样制备简单。目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪装置,这样可以同时进行显微***形貌的观察和微区成分分析,因此它是当今十分有用的科学研究仪器。
扫描电子显微镜观测电畴是通过对样品表面预***行化学腐蚀来实现的,由于不同极性的畴被腐蚀的程度不一样,利用腐蚀剂可在铁电体表面形成凹凸不平的区域从而可在显微镜中进行观察。因此,可以将样品表面预***行化学腐蚀后,利用扫描电子显微镜图像中的黑白衬度来判断不同取向的电畴结构。对不同的铁电晶体选择合适的腐蚀剂种类、浓度、腐蚀时间和温度都能显示良好的畴图样。
扫描电子显微镜的结构:
扫描电子显微镜的结构:
扫描电子显微镜是由三大部分组合而成的:真空系统,电子束系统还有成像系统。
1.真空系统,主要包含真空泵以及真空柱这两部分。真空柱是一个密封的柱形容器,真空泵则用来在真空柱内产生真空。
2.电子束系统,电子束系统主要是由电子以及电磁透镜这两部分组合而成,主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成像。电子用于产生电子,主要有利用场致发射效应产生电子还有利用热发射效应产生电子两种。
3.成像系统,电子通过一系列电磁透镜成束之后,打到样品上和样品相互作用,会产生次级电子、背散射电子、欧革电子还有X射线等一系列信号。因此需要不同的探测器比方说次级电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分这些信号为了获得所需要的信息。
扫描电子显微镜知识介绍
在扫描电子显微镜当中,将电子束从左到右方向的扫描运动叫做行扫描或者称之为水平扫描,将电子束从上到下方向的扫描运动称之为帧扫描或者叫做垂直扫描。两者的扫描速度完全不一样,行扫描的速度比帧扫描的速度快,对于一千条线的扫描图象来将,速度比为一千。
扫描电子显微镜的工作就是进入微观世界的工作。我们通常所说的微乎其微或者微不足道的东西,在微观世界当中,这个微也就不称其微,我们提出使用纳米作为显微技术中的常用度量单位,及1nm=10-6mm。
扫描电子显微镜成像过程和电视成像过程有很多相似的地方,并且和透射电镜的成像原理完全不一样。透射电镜是利用成像电磁透镜一次成像,而扫描电镜的成像则不需要成象透镜,它的图象是按照一定时间、空间顺序逐点形成并且在镜体外显像管上显示。
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