二次电子像的衬度主要取决于试样的表面形貌

二次电子的发射率随原子序数的变化不是很明显，如图a所示，它主要取决于试样的表面形貌。它是入射电子与试样中核外电子碰撞，使试样表面的核外电子被激发出来所产生的电子。当这些代表试样表面结构特征的电子被相应的探测器收集后作为扫描电镜的成像信号，其所成的像就称为二次电子像。二次电子像的衬度主要取决干试样表面与入射电子束所构成的倾角，而对于表面有一定形貌的试样，其形貌被看成由许许多多与入射电子束构成不同倾斜角度的微小形貌，如凸点、尖峰、台阶、平面、凹坑、裂纹和孔洞等细节所组成。

台式扫描电镜由电子光学系统、信号收集及显示系统

台式扫描电镜由电子光学系统、信号收集及显示系统、真空系统及电源系统组成。

　　电子光学系统：电子光学系统由电子、电磁透镜、扫描线圈和样品室等部件组成。其作用是用来获得扫描电子束，作为使样品产生各种物理信号的激发源。

　　电子：其作用是利用阴极与阳极灯丝间的高压产生高能量的电子束。

　　电磁透镜：其作用是把电子的束斑逐渐聚焦缩小，使原来直径约50um的束斑缩小成一个只有数nm的细小束斑。

　　扫描线圈：其作用使电子束进入末级透镜强磁场区前就发生偏转。

扫描电镜带能谱是一种体积小巧,可安放在实验台面上操作的台式电

扫描电镜带能谱是一种体积小巧，可安放在实验台面上操作的台式电子显微镜。它的电子光学系统、探测器、电路控制系统、信号采集系统和操作软件均为自主研制。***研发的电子光学系统设计，使拍摄图片具有更高的信噪比和对比度。配合很高的信号采集带宽，可以在视频帧率下高质量的流畅显示样品。只需鼠标就可完成所有操作，无需光阑对中等复杂步骤。主机集成高压及控制系统，是目前市面上体积较小的台式扫描电镜，便于移动，安装无需特殊环境。