环境场扫描电镜测试费用诚信企业「九鼎」
作者:九鼎2022/8/8 14:32:23








二次电子像的衬度主要取决于试样的表面形貌

二次电子的发射率随原子序数的变化不是很明显,如图a所示,它主要取决于试样的表面形貌。它是入射电子与试样中核外电子碰撞,使试样表面的核外电子被激发出来所产生的电子。当这些代表试样表面结构特征的电子被相应的探测器收集后作为扫描电镜的成像信号,其所成的像就称为二次电子像。二次电子像的衬度主要取决干试样表面与入射电子束所构成的倾角,而对于表面有一定形貌的试样,其形貌被看成由许许多多与入射电子束构成不同倾斜角度的微小形貌,如凸点、尖峰、台阶、平面、凹坑、裂纹和孔洞等细节所组成。


扫描电子显微镜的功能

  1、扫描电子显微镜追求固体物质高分辨的形貌,形态图像(二次电子探测器SEI)-形貌分析(表面几何形态,形状,尺寸)

  2、显示化学成分的空间变化,基于化学成分的相鉴定---化学成分像分布,微区化学成分分析

  1)用x射线能谱仪或波谱(EDS or WDS)采集特征X射线信号,生成与样品形貌相对应的,元素面分布图或者进行化学成分定性定量分析,相鉴定。

  2)利用背散射电子(BSE)基于平均原子序数(一般和相对密度相关)反差,生成化学成分相的分布图像;

  3)利用阴极荧光,基于某些痕量元素(如过渡金属元素,稀土元素等)受电子束激发的光强反差,生成的痕量元素分布图像。


国产台式扫描电镜采用钨灯丝电子

国产台式扫描电镜采用钨灯丝电子,加速电压在1-15kV范围内连续可调,搭配二次电子探测器、背散射电子探测器、集成式oxford能谱仪,同时满足形貌观测及元素分析需求。 当有电流流经灯丝时,阴极被直接加热,钨灯丝中的电子受热激发,在加速电场的作用下,电子定向发射。在正常的工作温度下,电子从大约100um×150um的面积发射离开“V”形阴极。当阴极的发射温度增加时,其发射电流以指数的方式快速增长,使得束斑亮度大增。


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