扫描电子显微镜的结构:

扫描电子显微镜的结构：

　　扫描电子显微镜是由三大部分组合而成的：真空系统，电子束系统还有成像系统。

　　1.真空系统，主要包含真空泵以及真空柱这两部分。真空柱是一个密封的柱形容器，真空泵则用来在真空柱内产生真空。

　　2.电子束系统，电子束系统主要是由电子以及电磁透镜这两部分组合而成，主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成像。电子用于产生电子，主要有利用场致发射效应产生电子还有利用热发射效应产生电子两种。

　　3.成像系统，电子通过一系列电磁透镜成束之后，打到样品上和样品相互作用，会产生次级电子、背散射电子、欧革电子还有X射线等一系列信号。因此需要不同的探测器比方说次级电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分这些信号为了获得所需要的信息。

简述什么是扫描电子显微镜

扫描电子显微镜（SEM）其实就是一种介于光学显微镜与透射电子显微镜之间的一种观察手法。它运用聚焦的极窄的高能电子束来扫描样品，经过物资和光束间的互相作用，来激起种种物理信息，对这些信息、缩小、再成像是为了达到对物资微观形貌表征的目的。新款的扫描电子显微镜的分辨率能够达到一纳米；缩小倍数能够达到三十万倍及以上不间断进行调节；而且视线大，景深大，成像立体效果佳。除此之外，扫描电子显微镜以及其余分析仪器相互结合，能够做到观察微观形貌的同一时间进行物质微区成份分析。扫描电子显微镜在石墨、岩土、纳米材料以及陶瓷等的研发上有普遍使用。所以扫描电子显微镜在科学研究行业拥有极大的功用。

扫描电镜对样品的要求

样品制备方法

　　1、块样

　　对于金属、岩矿或无机物，切割成要求的尺寸，粘在样品台上。如果样品数量多，注意样品尺寸一致。

　　微区成份分析样品表面应该平台或经研磨抛光，可以保证检测时几何条件不变。对于样品的断口面，要选择起伏不大的部位，是分析点附近有小的平坦区。样品表面和底面应该平行。

　　非导电或导电性较差的材料，要***行镀膜处理，在材料表面形成一层导电膜。以避免电荷积累，影响图像质量，并可防止试样的热损伤。

　　2、粉样

　　（1）微米级粉料：将粉样撒在样品台的双面胶上，用手指轻弹样品台四周，粉料会均匀地向四周移动，铺平一层，侧置样品台，把多余粉料抖掉；用纸边轻刮、轻压粉料面，使粉料与胶面贴实；用耳球从不同方向吹拂粉料。经此过程，粉料已牢固、均匀地粘在双面胶上。

　　（2）对于亚微米级或纳米粉料进行成分分析：利用压片机压成结实的薄片。把薄片用双面胶粘在样品台上 。