高分辨率台式扫描电镜是一种大型精密仪器

　高分辨率台式扫描电镜由三大部分组成：真空系统，电子束系统以及成像系统，是一种大型精密仪器，它是机械学、光学、电子学、热学、材料学、真空技术等多门学科的综合应用。

　　真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。真空柱是一个密封的柱形容器，真空泵用来在真空柱内产生真空，有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类，机械泵加油扩散泵的组合可以满足真空要求，需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成像系统和电子束系统均内置在真空柱中，真空柱底端即为右图所示的密封室，用于放置样品。

　　之所以要用真空，主要基于以下两点原因：电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效，所以除了在使用SEM时需要用真空以外，平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。为了增大电子的平均自由程，从而使得用于成像的电子更多。热发射电子需要电磁透镜来成束，所以在用热发射电子枪的SEM上，电磁透镜*。

扫描电镜的特点有哪些?

扫描电镜的特点

1.束流稳定，可与电子探针媲

扫描电镜配有自动法拉第笼。它安装在扫描电镜的镜筒内，由气动控制其进出，用以直接测量电子束流。镜筒内还含有闭环反馈控制系统，以便对电子束流进行控制。其电子束流的稳定度优于0.2%/h，已达到电子探针的水平。此外，束流稳定，非常有利于能谱分析，特别是波谱仪的分析工作(如果将来购买的话)。

2.扫描电镜：-----五种观察模式的电子光学系统

扫描电镜采用***的电子光学系统，在电子束对中、消像散、调焦等方面均处于业内地位。扫描电镜的每个镜筒均***供电所以可提供五种观察模式：分辨率模式、大景深模式、广角模式、分析模式，鱼眼模式。

扫描电子显微镜的相关应用

扫描电子显微镜的相关应用

一点，扫描电子显微镜可以观察纳米材料：它具备很高的分辨率，能够观察组成材料的颗粒或者微晶尺寸在零点一至一百纳米范围里，在保持表面洁净的条件下加压成型而得到的固体材料。

　　其次第二点，材料断口的分析：扫描电子显微镜景深大，图象富立体感，并且具备有三维形态，可以从断口形貌呈现材料断裂的本质，在材料断裂原因的分析，事故原因的分析还有工艺合理性的判定等方面是一个强有力的手段。

　　第三点，直接观察大试样的原始表面：扫描电子显微镜可以直接观察直径一百毫米，高五十毫米，或更大尺寸的试样，对试样的形状无任何的限制，粗糙表面也可以进行观察，这样就免除了制备样品的麻烦，并且可以真实观察试样本身物质成分不同的衬度（背散射电子象）。

　　第四点，观察厚试样：它在观察厚试样的时候，可以得到高的分辨率会还有真实的形貌。

　　第五点，能够观察试样的各个区域的细节：试样在样品室中可动的范围十分大，能够在三度空间内有六个自由度运动（也就是三度空间平移、三度空间旋转），这对观察不规则形状试样的各个区域带来很大的便利。

定期***扫描电镜有哪些好处

好处之一、减少扫描电镜的故障率

使用扫描电镜的消费者如若能够对其进行定期***，一旦发现仪器有异常状况都能及时做出针对性的处理。此种方式能够有效的减少扫描电镜发生重大故障的概率，同时也能够给使用扫描电镜检测仪器的企业节约许多不必要的维修费用开支。

好处之二、确保测量准确度

任何一款分析仪器在经过长期大量的测量工作之后其测量的准确度难免会受到外界因素的干扰，扫描电镜也是如此。因此定期对其进行准确度的检测***如若发现扫描电镜的测量准确度没有工作之时准确，***人员便能够及时发觉并校正处理，能够有效的保证测量的效果和准确度。

好处之三、延长使用寿命

不管是哪种类型的仪器或者设备长期使用之后都会受到磨损或者损坏，因此定期对其进行合理的***是很有必要的。操控扫描电镜的工作人员在对其进行常规***之时如若发现仪器某一部位磨损现象较为严重，便能及时的对其进行更换使得该设备能够在状态下工作，有利于延长扫描电镜的整体使用寿命。