离子溅射镀膜原理及特点

离子溅射镀膜

原理：

离子溅射镀膜是在部分真空的溅射室中辉光放电，产生正的气体离子；在阴极（靶）和阳极（试样）间电压的加速作用下，荷正电的离子轰击阴极表面，使阴极表面材料原子化；形成的中性原子，从各个方向溅出，射落到试样的表面，于是在试样表面上形成一层均匀的薄膜。

特点：

对于任何待镀材料，只要能做成靶材，就可实现溅射（适合制备难蒸发材料，不易得到高纯度的化合物所对应的薄膜材料）；

溅射所获得的薄膜和基片结合较好；

消耗少，每次仅约几毫克；

溅射工艺可重复性好，膜厚可控制，同时可以在大面积基片上获得厚度均匀的薄膜。

扫描电子显微镜通常至少有一个检测器

扫描电子显微镜通常至少有一个检测器（通常是二次电子检测器SEI），许多还配备了额外的检测器，如EDS、BSE、WDS、EBSD、CL等，但具体仪器的特殊功能强烈依赖于一个合适的检测器，检测器的安装角度是样品分析室的设计，对分析效果有很大的影响。深入了解各种功能机制，可以获得佳的电子显微镜分析质量。

低倍数下有了较为清晰图像后。将倍数放大至大于要拍摄倍数后（比如要拍摄1000倍，放大至5000或10000），将"平均"点数切换至5，然后将光标放至"聚焦微调"圆钮上，缓慢滚动滚轮，调整至图像清晰位置。然后切换至"镜组配置"，依次调整四个"消像散"条，至图像清晰为止。

透射电子显微镜常用于观察

透射电子显微镜常用于观察普通显微镜无法分辨的精细材料结构，扫描电子显微镜主要用于观察固体表面形貌，也可与X射线衍射仪或电子能谱仪结合形成电子。微探针用于材料成分分析，发射电子显微镜用于研究自发射电子表面。扫描电镜价格只是购买产品或服务过程中的一项指标，如果单纯只比较价格，其实考虑并不是那么周到。价格、质量、服务、口碑、是否合适自己的情况等都需要一起考虑。