扫描电子显微镜SEM分析

扫描电子显微镜具有景深大、分辨率高、成像直观、立体感强、放大倍数范围宽以及待测样品可在三维空间内进行旋转和倾斜等特点。另外，扫描电镜具有可测样品种类丰富，几乎不损伤和污染原始样品以及可同时获得形貌、结构、成分和结晶学信息等优点。

扫描电子显微镜SEM分析原理：用电子技术检测高能电子束与样品作用时产生二次电子、背散射电子、吸收电子、X射线等并放大成象。谱图的表示方法：背散射象、二次电子象、吸收电流象、元素的线分布和面分布等。

国产扫描电镜的样品制作

国产扫描电镜是经过多年的团队联合研发出来的国产扫描电镜，具有体积小、操作简单、性能优异等特点，扫描电镜放大倍率30~150,000 X，分辨率为5nm。国产扫描电镜由镜筒、电子信号的收集和处理系统、真空系统和电源系统组成，具有放大倍数可调范围宽、图像分辨率高和景深大等特点。 样品制作,安装(样品高度调整) 1.在完全释放真空的状态下开启舱门。 2.把固定在控制轴上的支架按照逆时针方面转动。 3.4.拧下固定在支架上的样品台,安装准备好的样品。 5.固定样品的高度,通过 W/D JIG调整高度。（W/D指工作距离） - 旋转装在支架上的两个螺母上下部分,样品的上缘高度和夹具限位臂下面一致后,让样品高度不变动的情况下互相往反方向旋紧固定螺母。 ※ 样品比较高的情况下可以去掉一个螺母,调整高度。 6.把载物台固定在支架上,沿顺时针方向转动到位固定。 7.缓慢关上舱门,同时按下真空按钮抽真空,待舱门被吸住在松手。

那些容易构成团聚的细颗粒粉末,在进行分析前,须将粉末放入装有

对于那些容易构成团聚的细颗粒粉末，在进行分析前，须将粉末放入装有无水酒精的烧杯中，再在超声清洗机中振动分散，待分散后再用滴管把粉末混合液滴在干净而平整的金属箔上，靠粉末表面的吸附力黏附到金属箔表面，然后把金属箔粘贴到样品台上，再放入台式扫描电镜的样品仓中进行分析。

可用压片机对细粉末进行挤压成片状后再用洗耳球吹掉未粘结牢的颗粒，然后放入台式扫描电镜样品仓中进行分析，这种方法对形貌观察可能会有些影响，但很适合于对细小颗粒样品的成分分析。

电子显微镜的分辨能力用它所能分辨的两个相邻点之间的***小距

电子显微镜是根据电子光学原理，利用电子束和电子透镜代替光束和光学透镜，从而可以在很高的放大倍数下对物质的精细结构进行成像的一种仪器。

电子显微镜的分辨能力用它所能分辨的两个相邻点之间的***小距离来表示。1970年代，透射电子显微镜的分辨率约为0.3纳米（人眼的分辨率约为0.1毫米）。

目前电子显微镜的***大放大倍数在300万倍以上，而光学显微镜的***大放大倍数在2000倍左右，所以可以直接观察到一些***的原子和晶体中排列整齐的原子晶格通过电子显微镜。