二次电子像的衬度主要取决于试样的表面形貌
二次电子的发射率随原子序数的变化不是很明显,如图a所示,它主要取决于试样的表面形貌。它是入射电子与试样中核外电子碰撞,使试样表面的核外电子被激发出来所产生的电子。当这些代表试样表面结构特征的电子被相应的探测器收集后作为扫描电镜的成像信号,其所成的像就称为二次电子像。二次电子像的衬度主要取决干试样表面与入射电子束所构成的倾角,而对于表面有一定形貌的试样,其形貌被看成由许许多多与入射电子束构成不同倾斜角度的微小形貌,如凸点、尖峰、台阶、平面、凹坑、裂纹和孔洞等细节所组成。
扫描电镜能谱一体机标配光学导航功能
扫描电镜能谱一体机标配光学导航功能,点击感兴趣的区域,在数秒内既可以得到样品微观形貌信息,点击切换至能谱软件界面可快速得到该区域的表面元素分布信息。扫描电镜能谱软件可以使用户实现多点分析,灵活检测样品的元素组分。同时,该软件还支持元素分析线扫、面扫功能。优化精简的操作界面可以帮助用户更方便地收集、导出分析数据。
扫描电镜是用聚焦电子束在试样表面逐点扫描成像。试样为块状或粉末颗 粒,成像信号可以是二次电子、背散射电子或吸收电子。其中二次电子是主要的成像信号。
如何选择高加速电压的缺点
加速电压越高入射电子束的波长越短,也就越容易得到高分辨力的图像,还有抗外部电磁场的干扰能力也会增强,也不易受到试样表层污染斑的影响,所以高的加速电压比较适合拍摄高倍率的图像。
选择高加速电压的缺点,所获得的图像会缺少表面信息和细节,易呈现高反差,特别是会明显变大边缘效应,使得到的图像欠柔和,也会使图像容易呈现生硬的感觉。另外,高的加速电压、大的束斑也容易造成试样的放电和损伤,以及图形的漂移。
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