二次电子检测信号和光电转换效率要高
二次电子的检测信号和光电转换效率要高→图像信号的接收和信噪比的问题。试样表面的细节要足够多和细、组分反差要大→试样表面的结构问题。试样的导电性要好、二次电子产额要高→试样的特征和制备问题。加速电压和束流的大小、束斑的对中、工作距离和图像的衬度调节等电镜参数的选择要合理→操作人员的工作经验、综合素质问题。供电电压的波动、地面的振动、周围的磁场和噪声等各种干扰都要尽可能小→环境条件的问题。
台式扫描电镜由电子光学系统、信号收集及显示系统
台式扫描电镜由电子光学系统、信号收集及显示系统、真空系统及电源系统组成。
电子光学系统:电子光学系统由电子、电磁透镜、扫描线圈和样品室等部件组成。其作用是用来获得扫描电子束,作为使样品产生各种物理信号的激发源。
电子:其作用是利用阴极与阳极灯丝间的高压产生高能量的电子束。
电磁透镜:其作用是把电子的束斑逐渐聚焦缩小,使原来直径约50um的束斑缩小成一个只有数nm的细小束斑。
扫描线圈:其作用使电子束进入末级透镜强磁场区前就发生偏转。
台式扫描电镜对操作员培训的要求
建立大型分析测试时,扫描电镜可以起到承上启下的作用,早期能满足大部分的测试需要,后期可以从外部使用者对于更高的性能需求和成本进行基于经验的评估,有针对性地完善整个扫描电镜测试系统。
有多少人将使用该系统?用户是否受过培训?如果不是,他们愿意投入多少时间进行培训?台式扫描电镜的操作非常简单,样品制备流程非常简单,获取图像可以像点击几个按钮一样简单。具有特定需求的用户,只要投入一点时间进行培训,就可以访问更高的的程序。总的来说,台式扫描电镜对操作员培训的要求要低得多,而且系统本身更加稳定。而且设备耐使,不容易坏,潜在的维修成本也很低。
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