背散射电子像具有下列基本性质和特点
背散射电子像具有下列基本性质和特点:
(1)其成像信息主要来自于返回试样表面的原一次电子,大部分电子的能量基本接近于原入射电子的能量。
(2)由于入射电子在试样中产生背散射电子的区域比二次电子的区域深、范围大,故背散射电子像的几何分辨力远不如二次电子像,对于中等或以上元素的分辨力与二次像相比约差2.5倍以上。
(3)由于背散射电子的能量较大,故其出射方向基本不受试样表面弱电场的影响,而且类似于点光源的形式以直线方式沿其径向轨迹散射开来。因此,只有出射方向正对着探测器的背散射电子才可以进入探测器中。当背散射探测器的有效面积所覆盖的立体角越大时,其接收效率越高,信噪比也越好,图像分辨力越能得到改善。
扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用
扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的入射电子轰击物质表面时,被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子,以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。同时,也可产生电子-空穴对、晶格振动(声子)、电子振荡(等离子体)。
原则上讲,利用电子和物质的相互作用,可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息,如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。扫描电子显微镜正是根据上述不同信息产生的机理,采用不同的信息检测器,使选择检测得以实现。如对二次电子、背散射电子的采集,可得到有关物质微观形貌的信息;对X射线的采集,可得到物质化学成分的信息。
扫描电镜能谱一体机内部集成了用于分析样品元素组分的能谱仪
扫描电镜能谱一体机是光学表征仪器产品的全明星,用户通过一台设备就可以实现形貌表征及元素分析功能。研究样品时,得到样品的形貌信息只是解决了一半问题。获得样品的元素组分信息往往也是非常必要的。
扫描电镜能谱一体机内部集成了用于分析样品元素组分的能谱仪。对于很多既需要观察表面形貌又要检测表面元素组分分布的用户非常适用,既减轻了用户单次设备采购成本,又具有体积小、集成化高、故障率低、易于使用维护等诸多优点。
台式扫描电镜主机集成高压及控制系统
台式扫描电镜主机集成高压及控制系统,体积小巧,便于移动,可出差携带,安装无需特殊环境,只需找一张桌子,供电就可工作。扫描电镜照片是灰度图像,分为二次电子像和背散射电子像,主要用于表面微观形貌观察或者表面元素分布观察。一般二次电子像主要反映样品表面微观形貌,基本和自然光反映的形貌一致,特殊情况需要对比分析。背散射电子像主要反映样品表面元素分布情况,越亮的区域,原子序数越高。
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