天津三维重构来电垂询「九鼎」
作者:九鼎2022/6/16 23:56:37








二次电子检测信号和光电转换效率要高

二次电子的检测信号和光电转换效率要高→图像信号的接收和信噪比的问题。试样表面的细节要足够多和细、组分反差要大→试样表面的结构问题。试样的导电性要好、二次电子产额要高→试样的特征和制备问题。加速电压和束流的大小、束斑的对中、工作距离和图像的衬度调节等电镜参数的选择要合理→操作人员的工作经验、综合素质问题。供电电压的波动、地面的振动、周围的磁场和噪声等各种干扰都要尽可能小→环境条件的问题。


空间角度分布与入射电子和试样表面的入射角有关

背散射电子的空间角度分布与入射电子和试样表面的入射角有关。高角度(>30°)的背散射像适宜于显示原子序数衬度;低角度(<30°)的背散射像适宜于显示试样表面的几何形貌衬度。在扫描电镜中,非弹性散射的背散射电子的能量分布范围很宽,从几十eV到几十千eV。从数量上看,弹性背散射电子所占的份额远比非弹性背散射电子多。

在扫描电镜中检测的试样,其准备工作十分简便。对导电体试样,可以不做任何预处理,只要其大小形状适合试样室,即可置入仪器试样室检测。对非导电体试样,则在置入试样室前,要在真空镀膜机中对其待测表面喷镀一薄层导电物质,常用的是金或碳。


台式扫描电镜图像的成像信息

在实际工作中要采集到一幅好照片,除了要有好的台式扫描电镜设备之外,选择合适的加速电压值也是很重要的一步。选择高、低不同的加速电压各有不同的优缺点,通常应根据试样的组分和分析目的的不同来考虑,即金属试样一般会选择较高的加速电压,轻元素组成的试样一般会选择较低的加速电压。

台式扫描电镜图像的成像信息来源越趋于表面,图像的表面细节就越显得丰富、细腻,特别是会明显减少边缘效应,使得到的图像显得更协调、柔和。另外,低加速电压、小束斑对试样表面的损伤小,不容易造成试样的荷电和图像的漂移,也会减轻对试样的损伤。


国产台式扫描电镜采用钨灯丝电子

国产台式扫描电镜采用钨灯丝电子,加速电压在1-15kV范围内连续可调,搭配二次电子探测器、背散射电子探测器、集成式oxford能谱仪,同时满足形貌观测及元素分析需求。 当有电流流经灯丝时,阴极被直接加热,钨灯丝中的电子受热激发,在加速电场的作用下,电子定向发射。在正常的工作温度下,电子从大约100um×150um的面积发射离开“V”形阴极。当阴极的发射温度增加时,其发射电流以指数的方式快速增长,使得束斑亮度大增。


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