金属断口和机械零部件的表面通常会含有油污、粉尘等外来污染物
1.金属断口和机械零部件的表面通常会含有油污、粉尘等外来污染物,这种样品在放进台式扫描电镜分析之前,要先用家用洗涤剂再用进行超声清洗,以免影响分析结果和污染样品仓。
2.有些要测量横截面的膜层、金属间化合物的厚度等块体样品往往需要经研磨、抛光和化学刻蚀等处理。研磨时为了避免边缘产生倾斜或形成圆钝角,影响表层膜厚及离子迁移深度等的测定,可用双面夹持片夹紧后进行研磨、抛光,再经刻蚀、超声清洗、干燥之后即可分析。
3.对于要分析或测量样品的表面镀层、中间夹层或者合金化层的微小薄层成分,以及测量薄样品的截面厚度,可以用塑料米包埋、加热、加压进行固化或采用环氧树脂浆料把样品包裹固化后再进行研磨、抛光和化学刻蚀,经超声清洗、干燥之后,再蒸镀导电层就可放入样品仓中分析。
硅酸盐、高分子、陶瓷和生物等非金属材料的断口
对于硅酸盐、高分子、陶瓷和生物等非金属材料的断口,由于其表面凹凸起伏比较严重,在溅射金属化膜层时,采用旋转镀膜台进行镀膜,否则要采用人为的左、右分别倾斜摆放,至少蒸镀两次,来增加样品表面的导电性、导热性,以及减小凹凸和空隙带来的自掩蔽和不连续影响。
对于抛光平整的样品做一般的形貌观察时,一般只需镀5 nm左右的金属导电膜,而对于表面较粗糙的样品,其膜层厚度一般> 10 nm。金和铂的导电膜具有良好的导电性,而且它们的二次电子发射率高,在空气中不容易氧化,膜厚易控制。镀金可以拍摄到质量好的照片,但如果需要拍摄5万倍以上的照片时,镀铬、铂或钨,它们的颗粒都比黄金颗粒更细微,可以拍摄到细节更丰富、图像更细腻的照片。
灯丝发射的热电子在2
灯丝发射的热电子在2-30KV的电压下加速,经两个聚光镜和一个物镜聚焦后,形成具有一定能量、强度和强度的入射电子束。光斑直径。在线圈产生的磁场作用下,入射电子束按一定的时间和空间顺序按光栅图案进行扫描。由于入射电子与样品的相互作用,从样品激发的二次电子被收集器收集,收集器可以收集向各个方向发射的二次电子。这些二次电子被加速射到闪烁体上,使二次电子信息转化为光信号,然后通过光管进入光电倍增管,使光信号转化为电信号。这个电信号经过视频放大器放大后输入到显像管的栅极来调制荧光屏的亮度,荧光屏上就会出现与样品对应的相同图像。当入射电子束在样品表面扫描时,二次电子发射量随样品表面的起伏(形貌)而变化。
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