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作者:九鼎2022/6/2 23:41:33








选用低能电子束,样品不用镀膜,可直接观察样品的形貌和成分衬度

选用低加速电压,即意味着使用低能电子束,入射样品后受到散射的扩散区域小,相互作用区接近表面,有利于表面形貌成像。常规加速电压观察半导体或绝缘体时,样品必须镀导电膜,这时形貌衬度是成像衬度,膜层完全掩盖了样品不同元素出射电子产率的变化,不能观察到样品的成分衬度。选用低能电子束,样品不用镀膜,可直接观察样品的形貌和成分衬度,充分反映出材料的原貌。

对于某些导电性差的材料,如半导体、集成电路、印制板、电脑零件、纸张、纤维、或者含水的动植物样品,要求直接观察微观形貌,使用常规高真空(High vacuum,HV)成像受到限制,应该使用VP(Variable pressure,可变压力模式)或EP(Extend pressure,扩展压力模式)成像技术。


金属断口和机械零部件的表面通常会含有油污、粉尘等外来污染物

1.金属断口和机械零部件的表面通常会含有油污、粉尘等外来污染物,这种样品在放进台式扫描电镜分析之前,要先用家用洗涤剂再用进行超声清洗,以免影响分析结果和污染样品仓。

2.有些要测量横截面的膜层、金属间化合物的厚度等块体样品往往需要经研磨、抛光和化学刻蚀等处理。研磨时为了避免边缘产生倾斜或形成圆钝角,影响表层膜厚及离子迁移深度等的测定,可用双面夹持片夹紧后进行研磨、抛光,再经刻蚀、超声清洗、干燥之后即可分析。

3.对于要分析或测量样品的表面镀层、中间夹层或者合金化层的微小薄层成分,以及测量薄样品的截面厚度,可以用塑料米包埋、加热、加压进行固化或采用环氧树脂浆料把样品包裹固化后再进行研磨、抛光和化学刻蚀,经超声清洗、干燥之后,再蒸镀导电层就可放入样品仓中分析。


扫描电子显微镜通常至少有一个检测器

扫描电子显微镜通常至少有一个检测器(通常是二次电子检测器SEI),许多还配备了额外的检测器,如EDS、BSE、WDS、EBSD、CL等,但具体仪器的特殊功能强烈依赖于一个合适的检测器,检测器的安装角度是样品分析室的设计,对分析效果有很大的影响。深入了解各种功能机制,可以获得佳的电子显微镜分析质量。

低倍数下有了较为清晰图像后。将倍数放大至大于要拍摄倍数后(比如要拍摄1000倍,放大至5000或10000),将"平均"点数切换至5,然后将光标放至"聚焦微调"圆钮上,缓慢滚动滚轮,调整至图像清晰位置。然后切换至"镜组配置",依次调整四个"消像散"条,至图像清晰为止。


光学显微镜主要由目镜、物镜、载物台和反射镜组成

光学显微镜主要由目镜、物镜、载物台和反射镜组成。目镜和物镜都是焦距不同的凸透镜。物镜凸透镜的焦距小于目镜凸透镜的焦距。物镜相当于投影仪的镜头,物体通过物镜变成倒置、放大的实像。目镜相当于普通的放大镜,实像通过目镜变成直立、放大的虚像。从显微镜到人眼的物体都是倒置放大的虚像。镜子用于反射和照亮被观察的物体。镜子一般有两个反射面:一个是平面镜,在光线较强时使用;另一种是凹面镜,在光线较弱时使用,可以将光线会聚。


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