半导体器件(IC)研究中的特殊应用

在半导体器件(IC)研究中的特殊应用：

　　1)利用电子束感生电流EBIC进行成像，可以用来进行集成电路中pn结的***和损伤研究

　　2)利用样品电流成像，结果可显示电路中金属层的开、短路，因此电阻衬度像经常用来检查金属布线层、多晶连线层、金属到硅的测试图形和薄膜电阻的导电形式。

　　3)利用二次电子电位反差像，反映了样品表面的电位，从它上面可以看出样品表面各处电位的高低及分布情况，特别是对于器件的隐开路或隐短路部位的确定尤为方便。

　　4、利用背散射电子衍射信号对样品物质进行晶体结构(原子在晶体中的排列方式)，晶体取向分布分析，基于晶体结构的相鉴定。

小心地施加灯丝的加热电流

直热式的钨阴极发射通过对灯丝的直接加热，把电子从钨阴极材料中激发出来。若增加灯丝的加热电流，灯丝的温度就会随之上升，发射的束流也会随之加大。当灯丝的发射束流达到其高点时，即使再加大灯丝的加热电流，其发射的束流也很难再有明显增加，而只会增加灯丝的温度，从而加速灯丝的挥发，进而导致灯丝很快烧断。也就是说操作者应该小心地施加灯丝的加热电流，以获得既大又稳定的发射束流，而灯丝的温度又能恰到好处，不至于升得太高而造成过热，这个点就叫作饱和点。

台式扫描电子显微镜采用高集成度电子光学系统设计和附件集成方案

台式扫描电子显微镜采用高集成度电子光学系统设计和附件集成方案，使拍摄图片具有更高的信噪比和对比度，同时也具有更强的抗干扰能力。

　　配合很高的信号采集带宽，可以在视频帧率下高质量的流畅显示样品。只需鼠标就可完成所有操作，无需光阑对中等复杂步骤。主机集成高压及控制系统，是目前市面上体积较小的扫描电镜，便于移动，安装无需特殊环境。

　　该产品使得扫描电镜不仅仅是“便宜电镜”的代名词，而是从集成度、易操作性、稳定性、抗干扰能力等角度出发，打造好用的台式扫描电镜。

台式扫描电镜对操作员培训的要求

建立大型分析测试时，扫描电镜可以起到承上启下的作用，早期能满足大部分的测试需要，后期可以从外部使用者对于更高的性能需求和成本进行基于经验的评估，有针对性地完善整个扫描电镜测试系统。

有多少人将使用该系统?用户是否受过培训?如果不是，他们愿意投入多少时间进行培训?台式扫描电镜的操作非常简单，样品制备流程非常简单，获取图像可以像点击几个按钮一样简单。具有特定需求的用户，只要投入一点时间进行培训，就可以访问更高的的程序。总的来说，台式扫描电镜对操作员培训的要求要低得多，而且系统本身更加稳定。而且设备耐使，不容易坏，潜在的维修成本也很低。