反应溅射在溅射气体中加入少量的反应气体

反应溅射

在溅射气体中加入少量的反应气体如氮气，氧气，烷类等，使反应气体与靶材原子一起在衬底上沉积，对一些不易找到块材制成靶材的材料，或溅射过程中薄膜成分容易偏离靶材原成分的，都可利用此方法。

反应气体：O2，N2，NH3，CH4，H2S等

镀膜操作

将制好的样品台放在样品托内，置于离子溅射仪中，盖好顶盖，拧紧螺丝，打开电源抽真空。待真空稳定后，约为5 X10-1mmHg，按下"启动"按钮，通过调节针阀将电流调至6~8mA，开始镀金，镀金一分钟后自动停止，关闭电源，打开顶盖螺丝，放气，取出样品即可。

SEM是扫描电子显微镜的简称

SEM是扫描电子显微镜的简称。扫描电子显微镜是1965年发明的一种比较现代的细胞生物学研究工具，它主要利用二次电子信号成像来观察样品的表面形貌，即用很窄的电子束扫描样品，通过与样品之间的相互作用产生各种效应。 该作用产生各种影响，其中包括样品的二次电子发射。 二次电子可以产生样品表面的放大图像，该图像是在扫描样品时按时间顺序建立的，即逐点成像获得放大图像。用台式扫描电镜拍几千倍的图可根据样品信号强度选择光斑直径中或者细来拍照。

台式扫描电子显微镜的逐点成像分解法显示出来的

我们所要观察的试样在一定区域的特征，则是采用台式扫描电子显微镜的逐点成像分解法显示出来的。试样表面由于形貌不同，对应于许多不相同的单元（称为像元），它们在电子束轰击后，能发出二次电子、背散射电子等信号，依次从各像元检出信号，再一一传送出去。传送的顺序是从左上方开始到右下方，依次一行一行地传送像元，直至传送完一幅或一帧图像。采用这种图像分解法，就可以用一套线路传送整个试样表面的不同信息。

电子是用来产生电子的,主要有两种,一共三种

电子是用来产生电子的，主要有两种，一共三种。

一种是利用场发射效应产生电子，称为场发射电子。这种电子很昂贵，超过十万美元，并且需要不到10-10托的超高真空。 但它的使用寿命至少为1000小时，并且不需要电磁镜头系统。

另一种是利用热发射效应产生电子。有钨和六硼化镧两种。 钨的寿命在30到100小时之间，价格便宜，但图像不如其他两种明亮，通常用作廉价或标准的SEM配置。六硼化镧的寿命介于场致发射电子和钨之间。200-1000小时，价格是钨的十倍左右。图像比钨亮5-10倍，需要比钨略高。真空度一般在10-7torr以上；然而，它比钨更容易过饱和和热激发。