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作者:九鼎2022/5/15 6:43:43








若粉末自身导电,则可直接放入台式扫描电镜中分析

若粉末自身导电,则可直接放入台式扫描电镜中分析,若粉末自身不导电,除非用环境扫描或低真空台式扫描电镜,否则还需蒸镀导电膜后再放入台式扫描电镜中分析。对粉末颗粒的蒸镀选用旋转镀膜台,若没有旋转镀膜台,则至少应采用两次人为相反方向的倾斜摆放进行镀膜,才能解决粉末颗粒造成的掩蔽死角所带来的不利影响,而对于那些用环氧树脂镶嵌并经研磨、抛光、清洗后的样品,通常只要平放蒸镀一次就可以进行分析。


真空镀膜法与离子溅射法相比

真空镀膜采用真空镀膜仪进行蒸镀,其原理是在高真空状态下,通过加热靶材,使之蒸发成极细小的颗粒(原子团)而挥发出来,然后通过自身的重力降落到样品的表面形成一层导电膜层,使样品表面导电。现在多数镀膜仪通常选用金、铂和金钯合金等,蒸镀金属膜的厚度约为5~10nm。同样的靶材用真空镀膜法与离子溅射法相比,真空镀膜法所形成的金属膜层的颗粒相对较粗,而且膜的均匀性较差,操作较麻烦,既费时又耗能、耗材,所以成本比较高。目前真空镀膜法已经很少使用,使用较多的是离子溅射法。


扫描电镜对样品的要求有哪些呢?

扫描电镜对样品的要求有哪些呢?

首先样品要保持干燥,不会被电子束分解,在电子束扫描下热稳定性要好,能提供导电和导热的通道。样品的大小或者厚度需要适用于样品台的安装,观察面要清洁,没有污染物。若需要进行微区成分分析,样品的表面还应该要平整。带有磁性的样品要预先去磁,以免观察时电子束受到磁场影响。如果不去磁,磁性颗粒很容易吸附到扫描电镜的极靴上,会对电镜的分辨率造成影响,所以需要先消磁再上机测试。


电子发射的电子束被几个电磁透镜还原后

电子发射的电子束被几个电磁透镜还原后,电子束到达样品并激发样品中的二次电子。探测器接收二次电子,通过信号处理调制显示器上的像素发光。由于电子束点的直径为纳米,显示器的像素超过100微米,因此这个像素在100微米以上发出的光代表样品上被电子束激发的区域发出的光。实现样品上该物点的放大。如果在样品的某个区域对电子束进行光栅扫描,并在时间和空间上对显示器像素的亮度进行相应的调制,就可以实现该样品区域微观形貌的放大成像。


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