扫描电子显微镜的特点有哪些?

扫描电子显微镜的特点有哪些？扫描电镜虽然是显微镜家族中的后起之秀, 但由于其本身具有许多的优点, 发展速度是很快的。 仪器分辨率较高, 通过二次电子象能够观察试样表面6nm左右的细节, 采用LaB6电子, 可以进一步提高到3nm。仪器放大倍数变化范围大, 且能连续可调。因此可以根据需要选择大小不同的视场进行观察, 同时在高放大倍数下也可获得一般透射电镜较难达到的高亮度的清晰图像。

装上波长色散X射线谱仪(WDX)或能量色散

可进行综合分析。装上波长色散X射线谱仪(WDX) 或能量色散X射线谱仪 (EDX) , 使具有电子探针的功能, 也能检测样品发出的反射电子、X射线、阴极荧光、透射电子、俄歇电子等。把扫描电镜扩大应用到各种显微的和微区的分析方式, 显示出了扫描电镜的多功能。另外, 还可以在观察形貌图象的同时, 对样品任选微区进行分析;装上半导体试样座附件, 通过电动势象放大器可以直接观察晶体管或集成电路中的PN结和微观缺陷。由于不少扫描电镜电子探针实现了电子计算机自动和半自动控制, 因而大大提高了定量分析的速度。

冷冻扫描电镜基于超低温冷冻制样传输技术

冷冻扫描电镜基于超低温冷冻制样传输技术，可避免干燥过程对含水量较高样品产生的影响，例如水凝胶等，可以直接观察冷冻后液体、半液体样品；测试生物样品时，冷冻技术能避免细胞因脱水产生的变形。与可以观察含水样品的环境扫描电镜相比，冷冻扫描电镜可在高真空状态下观察样品形貌，测试分辨率高，并可以直接对样品进行断裂，具有制样简单快速的优点。

扫描电镜的电子光学系统能正常、稳定地工作

为了保证扫描电镜的电子光学系统能正常、稳定地工作，电子和镜筒内部都需要有很高的真空度。真空度越高，越能减少对入射电子的散射，并能延长电子阴极的寿命，还会降低高压电极间的放电、打火和对电子束通道的污染。

目前，电镜真空系统佳的搭配是采用干泵（无油机械泵与涡轮分子泵的组合）来抽真空，这种搭配可以大大降低真空系统中的残余气体和反流的油蒸气形成的碳氢聚合物对试样表面的污染。