台式扫描电镜观察试样表面形貌
从试样表面形貌获得多方面资料,不仅可以利用入射电子与样品相互作用产生的信息进行成像,还可以通过信号处理方法获得各种图像的特殊显示方法,从样品的表面形貌中获得各种信息由于扫描电子图像不是同时记录的,它是由近百万条记录逐个组成的因此,除了观察其表面形貌外,SEM还可以分析其成分和元素通过电子通道花样进行结晶学分析,选择的面积大小可以在10μm到3μm之间。
扫描电子显微镜(scanningelectronmicros
扫描电子显微镜 (scanning electron microscope, SEM) 是一种用于高分辨率微区形貌分析的大型精密仪器 。具有景深大、分辨率高, 成像直观、立体感强、放大倍数范围宽以及待测样品可在三维空间内进行旋转和倾斜等特点。另外具有可测样品种类丰富, 几乎不损伤和污染原始样品以及可同时获得形貌、结构、成分和结晶学信息等优点。
目前, 扫描电子显微镜已被广泛应用于生命科学、物理学、化学、、地球科学、材料学以及工业生产等领域的微观研究, 仅在地球科学方面就包括了结晶学、矿物学、矿床学、沉积学、地球化学、宝石学、微体古生物、天文地质、油气地质、工程地质和构造地质等。
制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大、保真度
制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大、保真度高、有真实的三维效应等,对于导电材料,可直接放入样品室进行分析,对于导电性差或绝缘的样品则需要喷镀导电层。扫描电镜主要由七大系统组成,即电子光学系统、信号探测处理和显示系统、图像记录系统、样品室、真空系统、冷却循环水系统、电源供给系统。其中的三个系统是电子光学系统、信号探测处理和显示系统以及真空系统。
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