台式扫描电镜可以获得高分辨率和真实的厚样品形貌

台式扫描电镜可以获得高分辨率和真实的厚样品形貌扫描电子显微镜的分辨率介于光学显微镜和透射电子显微镜之间，但在比较厚样品的观察时，由于透射电子显微镜也采用层压法，层压的分辨率通常只有10nm，而且观察的不是样品本身。因此，用扫描电镜观察厚样品，获得样品的真实表面数据更为有利。台式扫描电镜对于从高功率到低功率的连续观测，放大倍数的变化范围非常大，并且不经常需要焦点扫描电镜放大倍数范围广（连续可调5-20万倍），一次聚焦后可连续观察从高到低、从低到高，无需再聚焦，特别便于事故分析。

电镜镜筒真空度差怎么办?

如果电镜镜筒中的真空度差，不仅会明显缩短灯丝寿命，严重的还会造成高压电极间的打火、击穿，甚至会造成试样表面污染加快等问题。

另外，若所用的真空泵油质量不好，其饱和蒸气压大， 则腔体内真空度很难提高，这样不仅样品仓和电子通道易受到油蒸气的污染，时间长了能谱探测器的密封窗膜表面也会因受到污染物的黏附而变厚， 进而影响超轻元素和低能段的峰高。

关于大块样品的测试，的办法就是将样品裁小，样品尺寸变小，对应的气孔也会变少，电镜的真空度也就很容易上去。

如果样品不能裁剪，需要将样品充分干燥，适当升高烘干温度，还可将样品放入喷金仪中抽真空一段时间，这样能减少样品内部的空气。

扫描电子显微镜,被广泛应用于对各种材料的形貌、结构、界面状况

扫描电子显微镜，被广泛应用于对各种材料的形貌、结构、界面状况、损伤机制以及材料性能预测等方面，可以直接观察材料内部原子的集结方式和真实的边界，研究晶体缺陷等，从而分析得出失效原理。失效分析是一门发展中的新兴学科，近年开始从向普通企业普及，它一般根据失效模式和现象，通过分析和验证，模拟重现失效的现象，找出失效的原因，挖掘出失效的机理的活动。

电子光学系统包括电子、电磁透镜、扫描线圈、样品室等

电子光学系统包括电子、电磁透镜、扫描线圈、样品室等，主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成象。电磁透镜：热发射电子需要电磁透镜来成束，所以在用热发射电子的扫描电镜上，电磁透镜。通常会装配两组：汇聚透镜和物镜，汇聚透镜仅仅用于汇聚电子束，与成象会焦无关；物镜负责将电子束的焦点汇聚到样品表面。

扫描线圈的作用是使电子束偏转，并在样品表面作有规则的扫动，电子束在样品上的扫描动作和显像管上的扫描动作保持严格同步，因为它们是由同一扫描发生器控制的。