扫描电镜另一类经常需要溅射喷金的是非导电材料

扫描电镜另一类经常需要溅射喷金的是非导电材料。由于它们的非导电性，其表面带有“电子陷阱”的作用。这种表面上的电子积累被称为“充电”，为了消除充电效应，一种常见的解决该问题的的方法是降低样品腔的真空度。这样可以在样品表面附近引入带有正电荷的分子。它们与充电电子相互中和，从而消除充电效应。这已经被证明是一种行之有效的方法。然而，真空室中引入的空气分子会干扰电子束，影响图像质量。因此，为了追求高质量的扫描电镜喷金图像，则建议选择使用磁射喷金;镀层充当一个导电通道，使充电电子可以从材料中转移走。

金属断口和机械零部件的表面通常会含有油污、粉尘等外来污染物

1.金属断口和机械零部件的表面通常会含有油污、粉尘等外来污染物，这种样品在放进台式扫描电镜分析之前，要先用家用洗涤剂再用进行超声清洗，以免影响分析结果和污染样品仓。

2.有些要测量横截面的膜层、金属间化合物的厚度等块体样品往往需要经研磨、抛光和化学刻蚀等处理。研磨时为了避免边缘产生倾斜或形成圆钝角，影响表层膜厚及离子迁移深度等的测定，可用双面夹持片夹紧后进行研磨、抛光，再经刻蚀、超声清洗、干燥之后即可分析。

3.对于要分析或测量样品的表面镀层、中间夹层或者合金化层的微小薄层成分，以及测量薄样品的截面厚度，可以用塑料米包埋、加热、加压进行固化或采用环氧树脂浆料把样品包裹固化后再进行研磨、抛光和化学刻蚀，经超声清洗、干燥之后，再蒸镀导电层就可放入样品仓中分析。

如果用标样来做有标样法的定量分析

如果用标样来做有标样法的定量分析，为了保证待测样品与标样膜厚度相同，标样和样品应放在一起同时蒸镀。如果所要分析的样品中含有碳，而又要进行碳的定量分析，则该样品采用环境扫描或低真空的电镜做分析。如果没有低真空的台式扫描电镜，而改镀金属膜，则超轻元素会受到明显衰减。如果样品表面镀有导电膜，在做定量分析时应把所镀膜层的元素峰排除在外，即应让所蒸镀的元素峰参与峰剥离，而不参与定量计算，以尽量减小外来因素的影响。