离子溅射镀膜原理及特点

离子溅射镀膜

原理：

离子溅射镀膜是在部分真空的溅射室中辉光放电，产生正的气体离子；在阴极（靶）和阳极（试样）间电压的加速作用下，荷正电的离子轰击阴极表面，使阴极表面材料原子化；形成的中性原子，从各个方向溅出，射落到试样的表面，于是在试样表面上形成一层均匀的薄膜。

特点：

对于任何待镀材料，只要能做成靶材，就可实现溅射（适合制备难蒸发材料，不易得到高纯度的化合物所对应的薄膜材料）；

溅射所获得的薄膜和基片结合较好；

消耗少，每次仅约几毫克；

溅射工艺可重复性好，膜厚可控制，同时可以在大面积基片上获得厚度均匀的薄膜。

国产扫描电镜的样品制作

国产扫描电镜是经过多年的团队联合研发出来的国产扫描电镜，具有体积小、操作简单、性能优异等特点，扫描电镜放大倍率30~150,000 X，分辨率为5nm。国产扫描电镜由镜筒、电子信号的收集和处理系统、真空系统和电源系统组成，具有放大倍数可调范围宽、图像分辨率高和景深大等特点。 样品制作,安装(样品高度调整) 1.在完全释放真空的状态下开启舱门。 2.把固定在控制轴上的支架按照逆时针方面转动。 3.4.拧下固定在支架上的样品台,安装准备好的样品。 5.固定样品的高度,通过 W/D JIG调整高度。（W/D指工作距离） - 旋转装在支架上的两个螺母上下部分,样品的上缘高度和夹具限位臂下面一致后,让样品高度不变动的情况下互相往反方向旋紧固定螺母。 ※ 样品比较高的情况下可以去掉一个螺母,调整高度。 6.把载物台固定在支架上,沿顺时针方向转动到位固定。 7.缓慢关上舱门,同时按下真空按钮抽真空,待舱门被吸住在松手。

台式扫描电镜的一个突出优点

其实制样的关键就是让样品导电，因此对导电样品，不需要再做特殊处理，特别是对那些能导电的块状样品，在样品没有油污、水分等的情况下，一般可直接放入样品仓中观察和分析样品表面形貌及相关的物理和化学特征，这是台式扫描电镜的一个突出优点。对非导电样品，只要在样品上喷涂一层导电物质（通常为金或碳）即可进行观察，这比起光学显微镜和透射电镜制样要简单得多。

若将样品置于靶材下方，则被溅射的金属原子团就会降落到样品表面，形成一层金属膜，用该方法给样品表面镀膜，称为离子溅射镀膜法。