扫描电镜的结构及工作原理

台式扫描电镜与传统的大型扫描电子显微镜相比，台式扫描电子显微镜具有体积小、操作简单、价格低廉、抽真空速度快等优点。台式扫描电子显微镜的分辨率可以满足大多数材料的显微观察。台式扫描电镜填补了光学显微镜与传统大型扫描电镜之间的分辨率的空白，可广泛应用于材料科学、纳米粒子、生物***、食品、纺织纤维、地质科学等诸多领域。接下来泽攸小编将主要介绍一下扫描电镜的结构及工作原理。

扫描电子显微镜是检测样品表面形貌的大型仪器。当具有一定能量的入射电子束轰击样品表面时，电子与元素核和外层电子发生一次或多次弹性和非弹性碰撞。一些电子被样品表面反射，而其余电子则穿透样品,逐渐失去动能，在Z后停止运动，被样品吸收。在这个过程中，99%以上的入射电子能量转化为样品热能，剩余约1%的入射电子能量激发样品的各种信号。如图1所示，这些信号主要包括二次电子、背散射电子、吸收电子、透射电子、俄歇电子、电子电动势、阴极发光、X射线等。扫描电子显微镜设备使用这些信号来获取信息来分析样品。

透射电镜TEM和扫描电镜SEM的结构差异

透射电镜TEM和扫描电镜SEM的结构差异：

主要体现在样品在电子束光路中的位置不同。透射电镜的样品在电子束中间，电子源在样品上方发射电子，经过聚光镜，然后穿透样品后，有后续的电磁透镜继续放大电子光束，然后投影在荧光屏幕上；扫描电镜的样品在电子束末端，电子源在样品上方发射的电子束，经过几级电磁透镜缩小，到达样品。当然后续的信号探测处理系统的结构也会不同，但从基本物理原理上讲没什么实质性差别。

相同之处：都是电真空设备，使用绝大部分部件原理相同，例如电子，磁透镜，各种控制原理，消象散，合轴等等。

扫描电镜拍摄的图像真实、清晰、立体感十足

对于样品从低倍到高倍的***和分析，样品室中的样品不仅可以沿三维空间移动，还可以根据观察需要在空间中旋转，便于连续、系统地进行用户对感兴趣的部分进行观察和分析。扫描电镜拍摄的图像真实、清晰、立体感十足，已广泛应用于新型陶瓷材料三维微观结构的观察和研究。

由于扫描电镜可以利用多种物理信号对样品进行综合分析，并具有直接观察较大样品、放大范围广、景深大的特点，当陶瓷材料处于不同的外部条件和化学环境时，扫描电子显微镜在其微观结构分析和研究方面也显示出很大的优势。