扫描电镜之电子探针

定量分析准确度高

电子探针是目前微区元素定量分析准确的仪器。电子探针的检测极限(能检测到的元素浓度)一般为（0.01－0.05）%， 不同测量条件和不同元素有不同的检测极限，但由于所分析的体积小，所以检测的感量极限值约为10-14g，主元素定量分析的相对误差为(1—3)%，对原子序数大于11 的元素，含量在10% 以上的时，其相对误差通常小于2%。

微区离子迁移研究

多年来，还用电子探针的入射电子束注入试样来诱发离子迁移，研究了固体中微区离子迁移动力学、离子迁移机理、离子迁移种类、离子迁移的非均匀性及固体电解质离子迁移损坏过程等，已经取得了许多新的结果。

扫描电镜的讯号源与侦测讯号

扫描电镜的讯号源与侦测讯号，是电子丶二次电子丶被散电子等讯号。这电子讯号在传输的过程中不能有其他介质的干扰，所以扫描电子显微镜必须在真空环境下才能工作。扫描电子显微镜的主要组成单元包括：真空系统丶电子与电子光学系统丶样品仓丶防震与控制系统丶电脑丶工作台等。另外还可以搭配EDS能谱丶WDS波谱等配件，进行成分分析的定性与定量工作

扫描电子显微镜SEM基本参数

扫描电子显微镜SEM 基本参数 放大率：通过控制扫描区域的大小来控制放大率的。如果需要更高的放大率，只需要扫描更小的一块面积就可以了。放大率由屏幕/照片面积除以扫描面积得到 场深：扫描电子显微镜SEM中，位于焦平面上下的一小层区域内的样品点都可以得到良好的会焦而成象。这一小层的厚度称为场深，通常为几纳米厚，所以，SEM可以用于纳米级样品的三维成像。 工作距离：工作距离指从物镜到样品高点的垂直距离。 如果增加工作距离，可以在其他条件不变的情况下获得更大的场深。 如果减少工作距离，则可以在其他条件不变的情况下获得更高的分辨率。 通常使用的工作距离在5毫米到10毫米之间。