纳米尺寸研究

纳米材料是纳米科学技术基本的组成部分，只有几纳米的"粒子"可以通过物理、化学和生物方法制备。纳米材料应用广泛。例如，陶瓷材料一般具有硬度高、耐磨、耐腐蚀等优点。纳米陶瓷还可以在一定程度上增加韧性，改善脆性。纳米级、纳米级等新型陶瓷纳米材料也是一个重要的应用领域。纳米材料的所有性主要源于其纳米尺寸。因此，要准确知道其尺寸，否则纳米材料的研究和应用将失去基础。纵观目前国内外的研究现状和新成果，该领域的检测方法和表征方法可采用透射电子显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜等技术，但高分辨率扫描电子显微镜的观察和尺寸检测由于其简单性和可操作性的优点而被广泛使用。此外，如果将扫描电子显微镜和扫描隧道显微镜结合起来，可以将普通的扫描电子显微镜升级为高分辨率的扫描电子显微镜。

台式扫描电镜观察厚试样

　　台式扫描电镜可以获得高分辨率和真实的厚样品形貌扫描电子显微镜的分辨率介于光学显微镜和透射电子显微镜之间，但在比较厚样品的观察时，由于透射电子显微镜也采用层压法，层压的分辨率通常只有10nm，而且观察的不是样品本身。因此，用扫描电镜观察厚样品，获得样品的真实表面数据更为有利。

　　台式扫描电镜观察试样区域细节

　　试样在样品室中可动的范围非常大，而显微镜在其它方面的工作距离通常只有2-3cm，因此实际上，只有试样可以在二维空间中移动，但在台式扫描电子显微镜中是不同的由于工作距离大（可能大于20 mm）焦深大（比TEM大10倍）样品室的空间也很大因此，试样在三维空间（即三维平移、三维旋转）可以有六个自由度的运动而且具有较大的活动范围，便于观察不规则形状样品的各个区域。

台式扫描电镜连续观察

　　台式扫描电镜对于从高功率到低功率的连续观测，放大倍数的变化范围非常大，并且不经常需要焦点扫描电镜放大倍数范围广（连续可调5-20万倍），一次聚焦后可连续观察从高到低、从低到高，无需再聚焦，特别便于事故分析。

　　台式扫描电镜观察生物试样

　　因电子照射而发生试样的损伤和污染程度很小。扫描电镜同其他方式的电子显微镜比较，由于用于观察的电子探针电流小，电子探针的束斑尺寸小（通常为5nm到几十纳米），电子探针的能量也小（加速电压可以小到2KV）此外，它不会在固定处照射样品，而是通过光栅扫描照射样品因此，对一些生物样品进行观察是非常重要的，因为样品的损伤和污染程度都很小。