全自动扫描电镜是工业发展的***科技
全自动扫描电镜由电子枪和电磁透镜两部分组成,主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成像,热发射电子需要电磁透镜来成束,所以在用热发射上,电磁透镜*。
全自动扫描电镜通常会装配两组:汇聚透镜:顾名思义,汇聚透镜用汇聚电子束,装配在真空柱中,位于电子枪之下。通常不止一个,并有一组汇聚光圈与之相配。但汇聚透镜仅仅用于汇聚电子束,与成像会焦无关 。物镜:物镜为真空柱中下方的一个电磁透镜,它负责将电子束的焦点汇聚到样品表面。
电子经过一系列电磁透镜成束后,打到样品上与样品相互作用,会产生次级电子、背散射电子以及X射线等一系列信号,所以需要不同的探测器譬如次级电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分这些信号以获得所需要 的信息,虽然X射线信号不能用于成像,但习惯上,仍然将X射线分析系统划分到成像系统中。与普通光学显微镜不同,在全自动扫描电镜中,是通过控制扫描区域的大小来控制放大率的,如果需要更高的放大率,只需 要扫描更小的一块面积就可以了。放大率由屏幕/照片面积除以扫描面积得到。
高分辨率台式扫描电镜易于掌握
高分辨率台式扫描电镜是电镜系列中***的产品,第五代放大倍数提升为150,000 倍,分辨率优于8nm,30 秒快速得到表面细节丰富的高质量图像,是目前世界上分辨率高的台式扫描电镜,可用于测量亚微米或纳米尺度的样品,继承了电镜系列高分辨率、15秒快速抽真空、不喷金观看绝缘体、全自动操作、2-3年更换灯丝及防震设计等优点。
高分辨率台式扫描电镜更加简单易用的导航模式,更加快速的操作模式;同时刻进行二次电子像和背散射电子像收集;更加***的低真空模式;全新升级的分析软件,舒适通用;从1kV-30kV同标准电镜相同的全加速电压量程;能进行生物样品和材料样品的自动设置,提高和扩大了实验室内的光学显微镜或扫描电子显微镜仪器的分辨率和景深。高分辨率台式扫描电镜预先设定方案的自动和手动控制,高真空和低真空模式,对导体和非导体样品无需进行如涂层和干燥等特殊的样品处理准备。
桌面扫描电镜是操作工程的产品
桌面扫描电镜介于光学显微镜和大型扫描电镜之间,充分满足用户对于大景深高分辨的微观形貌形态观测需要,同时可接配的背散射电子探测器和小型能谱仪满足用户对于微区化学成分分布的表征需要。
桌面扫描电镜占地空间小,操作简单方便,可以类似傻瓜相机来使用,***主要的,小型台式机价格较低,大大促进了电子显微镜在材料研制中的普及应用。桌面扫描电镜20KV二次电子分辨率达到7nm,是目前所有台式扫描电镜的***高水平。标准配置的两轴马达驱动样品台,全自动真空系统,全自动的电子光学调控系统,可以让用户从开始到结束都可以用手指在触摸屏上进行操作。
扫描电镜成功进入***制造领域
首先,电镜的分辨率是一项重要的参数, 台式扫描电镜大样品室版Phenom XL系列具有14nm的分辨率,能够为客户提供高质量的电子图像;
其次,电镜配置有双探头,能够呈现背散射图像和二次电子图像,为客户提供原子序数衬度图像和形貌衬度图像,满足不同的成像需求;
其三, 电镜对样品的导电性要求非常宽松,即使是不导电的样品,也可直接进行观察而不需喷金,这就大大扩宽了电镜的测试能力,为上述多类生物样品的观察创造了机会 ;
其四,台式扫描电镜大样品室版Phenom XL具有100mm*100mm*40mm的样品空间,可一次放置36个直径为半英寸的样品台,大幅提升测试效率。
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