加工精度达到 1微米的机械加工方法。精密机械加工是在严格控制的环境条件下，使用精密机床和精密量具和量仪来实现的。加工精度达到和超过 0.1微米称超精密机械加工。

精密机械加工的工艺效果是：

①零件的几何形状和相互位置精度达到微米或角秒级；

②零件的界限或特征尺寸公差在微米以下;

③零件表面微观不平度(表面不平度平均高度差)小于0.1 微米;

④互配件能满足配合力的要求；

⑤部分零件还能满足准确的力学或其他物理特性要求。

日本通产省1991年开始启动一项为期10年、耗资250亿日元的微型大型研究计划，研制两台样机、进入***进行诊断和微型***，另一台用于工业，对飞机发动机和原子能设备的微小裂纹实施维修。该计划有筑波大学、东京工业大学、东北大学、早稻田大学和富士通研究所等几十家单位参加。

欧洲工业发达***也相继对微型系统的研究开发进行了******，德国自1988年开始微加工十年计划项目，其科技部于1990～1993年拨款4万马克支持'微系统计划'研究，并把微系统列为本世纪初科技发展的***，德国首创的LIGA工艺，为MEMS的发展提供了新的技术手段，并已成为三维结构制作的优选工艺。法国1993年启动的7000***郎的'微系统与技术'项目。欧共体组成'多功能微系统研究网络NEXUS'，联合协调46个研究所的研究。瑞士在其传统的钟表制造行业和小型精密机械工业的基础上也投入了MEMS的开发工作，1992年***为1000万美元。英国***也制订了纳米科学计划。在机械、光学、电子学等领域列出8个项目进行研究与开发。为了加强欧洲开发MEMS的力量，一些欧洲公司已组成MEMS开发集团。

 机械加工工艺规程的制定，大体可分为两个步骤。首先是拟定零件加工的工艺路线，然后再确定每一道工序的工序尺寸、所用设备和工艺装备以及切削规范、工时定额等。这两个步骤是互相联系的，应进行综合分析。

 工艺路线的拟定是制定工艺过程的总体布局，主要任务是选择各个表面的加工方法，确定各个表面的加工顺序，以及整个工艺过程中工序数目的多少等。