随着我国国民经济的快速发展,气体产品应用范围不断扩大,用量不断增加,新产品不断推出,纯度不断提高,市场需求不断扩大,产值增长速度远远超过同期国民经济总值的增长速度,达到年12%的增长率。***气体产品市场年销售额约为400亿元。安徽气体指出，虽然气体工业总产值在国民经济生产总值中所占的比例不算大,但它对当前飞速发展的微电子、航空航天、生物工程、新型材料、精密冶金、环境科学等高新技术部门有重要影响,是这些部门不可缺少的原材料气体或工艺气体。正是由于各种新兴工业部门和现代科学技术的需要和推动,气体工业产品才在品种,质量和数量等方面取得令人瞩目的飞跃发展。

特种气体在LED中的应用

特种气体是光电子、微电子等领域，特别是在超大的规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基硅性支撑源材料。它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率，并且从根本上制约着电路和器件的性和准确性。

半导体工业用气体品种多、质量要求高、用量少，大部分是***或腐蚀性气体。品种高达百余种。半导体工业特种气体应用分类，主要包括：

1. 硅族气体：含硅基的类，如、二氯二氢硅、乙等。

2. 掺杂气体：含硼、磷、等三族及五族原子之气体，如三氯化硼、三、磷烷、烷等。

3. 蚀刻清洗气体：以含卤化物及卤碳化合物为主，如、三氟化氮、、四氟化碳、六等。

4. 反应气体：以碳系及氮系氧化物为主，如二氧化碳、氨、氧化亚氮等。

5. 金属气相沉积气体：含卤化金属及有机烷类金属，如六氟化钨、基等。

高纯气体管道主要施工***的关键

高纯气体管道主要施工要点：

(一)施工前的准备

1、安排劳动力，准备施工中运用的机具、设备。

2、搭建预制间，洁净度1000级。

3、施工图剖析，根据工程特色及实际情况编制施工计划，做好技能交底。

(二)管道预制

1、因为高纯气体管道要求的洁净度较高，为了削减装置现场的焊接工作量，确保洁净度，所以管道的施工先在1000级的预制间中预制，施工人员应穿洁净服，运用的工机具应确保洁净，另外施工人员应有较强的洁净意识，施工进程尽量削减对管子的污染。

2、管道焊接，管道焊接前应先编制焊接程序输入到主动焊机，试焊样品，样品合格后，方能焊接，进行完一天的焊接后，再焊样品 ，如果样品合格，因为焊接参数一直储存在焊机里，主动焊机焊接时又非常安稳，所以焊缝质量也是合格的。焊接质量由微机操控，削减了因为人为因素对焊接质量的影响，既提高了工作效率，又能得到的焊缝。

3、焊接工序

4、管道的下料 管道下料运用的是的切管东西，切出的端面肯定和管轴心线笔直，切管时应采取办法防止外界的尘埃、空气对管子内部的污染，下好的料应分组编号以便于组对焊接。