但我国电子气体行业在2006年后进入快速发展阶段。特别是在2010年以后，国内电子气体市场不断攻破国外的技术垄断，、超纯氨等等重要特种气体进入国产化时代，我国电子气体依赖进口的局面也在被迅速打破。目前国内电子气体市场潜力巨大，半导体、光伏等行业的发展保证了电子气体的旺盛需求，国内厂家也在不断加大电子气体的研发投入，可以料想的是国内电子气体市场的发展将无可，同时也将是工业气体市场良好的增长点。

高纯管道在高纯气体输送中的意义

在不锈钢熔炼制材过程中，每吨可吸收大约200g的气体。不锈钢材加工完毕，不仅其表面粘有各种污染物，而且在其金属晶格内也吸留有一定量的气体。当管路中有气流通过时，金属所吸留的这部分气体会重新进入气流中，污染纯净气体。当管内气流为不连续流动时，管材对所通过的气体形成压力下吸附，气流停止通过时，管材所吸附的气体又形成解析，而解析的气体同样作为杂质进入管内纯净气体中。同时，吸附、解析周而复始，使得管材内表面金属也会产生一定的粉末，这种金属粉尘粒子同样污染管内纯净的气体。管材的这一特性至关重要，为了确保输送的气体的纯净度，不仅要求管材内表面有一个极高的光滑度，而且，应当具有很高的耐磨特性。

特种气体在LED中的应用

特种气体是光电子、微电子等领域，特别是在超大的规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基硅性支撑源材料。它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率，并且从根本上制约着电路和器件的性和准确性。

半导体工业用气体品种多、质量要求高、用量少，大部分是***或腐蚀性气体。品种高达百余种。半导体工业特种气体应用分类，主要包括：

1. 硅族气体：含硅基的类，如、二氯二氢硅、乙等。

2. 掺杂气体：含硼、磷、等三族及五族原子之气体，如三氯化硼、三、磷烷、烷等。

3. 蚀刻清洗气体：以含卤化物及卤碳化合物为主，如、三氟化氮、、四氟化碳、六等。

4. 反应气体：以碳系及氮系氧化物为主，如二氧化碳、氨、氧化亚氮等。

5. 金属气相沉积气体：含卤化金属及有机烷类金属，如六氟化钨、基等。