生产高纯气体

精制后的副产气体可采用吸收 —解吸 —冷凝—过滤 —吸附工艺生产高纯气体。这种高纯气体用途如下 :

● 　聚生产

高纯气体可与乙烯合成, 也可用于与烃 、空气(或氧气)进行催化法氧氯化反应生产氯化烃 。工业上的氧氯化反应就是的生产，生成的裂解生产并副产 HCl气 ,这种副产HCl 气可循环利用。

●　NH 4 Cl 生产

氨和 HCl 可直接合成制造 NH 4 Cl, 也可生产氯化磷用作 4-羟磷氯化物的中间体。

但我国电子气体行业在2006年后进入快速发展阶段。特别是在2010年以后，国内电子气体市场不断攻破国外的技术垄断，、超纯氨等等重要特种气体进入国产化时代，我国电子气体依赖进口的局面也在被迅速打破。目前国内电子气体市场潜力巨大，半导体、光伏等行业的发展保证了电子气体的旺盛需求，国内厂家也在不断加大电子气体的研发投入，可以料想的是国内电子气体市场的发展将无可，同时也将是工业气体市场良好的增长点。

特种气体在LED中的应用

特种气体是光电子、微电子等领域，特别是在超大的规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基硅性支撑源材料。它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率，并且从根本上制约着电路和器件的性和准确性。

半导体工业用气体品种多、质量要求高、用量少，大部分是***或腐蚀性气体。品种高达百余种。半导体工业特种气体应用分类，主要包括：

1. 硅族气体：含硅基的类，如、二氯二氢硅、乙等。

2. 掺杂气体：含硼、磷、等三族及五族原子之气体，如三氯化硼、三、磷烷、烷等。

3. 蚀刻清洗气体：以含卤化物及卤碳化合物为主，如、三氟化氮、、四氟化碳、六等。

4. 反应气体：以碳系及氮系氧化物为主，如二氧化碳、氨、氧化亚氮等。

5. 金属气相沉积气体：含卤化金属及有机烷类金属，如六氟化钨、基等。

工业气体增长乏力

波澜壮阔的2018年已进尾声。在国内外经济挑战不断加剧的背景下，工业气体也遇到了价格止步、销量下滑的困境。然而，许多方面仍然值得我们庆祝，2019年依然值得期待…

但我们也不得不看到，工业气体供应链的遗留问题仍然没有解决，或者我们仍然缺乏解决问题的决心。客户开发、供应保障和经济性的交易过程、价格管控等方面效能、效率低下的问题总是在增长不再，在我们困难的时候爆发…