原理：低压吸附真空解吸，在低压条件下将空气中的氮气氧气吸入，吸附饱和后分子筛在真空的条件下解吸，将氮气从排放口排放，氧气进入提纯系统，分子筛不断的吸附解压从而循环制得纯度较高的氧气（90～95%）。与PSA相VPSA能耗较低，制氧设备越大其能耗越低。型变频臭氧机主要包括五大部分：无水冷变频电源、水冷大型变频臭氧发生器、内循水冷系统、PLC控制系统等公司10多年来臭氧技术不断创新。

技术指标

◆产品规模：100-10000Nm3/h

◆氧气纯度：≥90-94%，可根据用户要求在30-95%范围内调整。

◆制氧电耗：氧纯度在90%时，折合为纯氧的电耗为0.32-0.37KWh/ Nm3

◆氧气压力：≤20kpa（可增压）

◆年开功率：≥95%

青岛中通臭氧自己研制编程了制氧机PLC控制，采取了臭氧制氧现场匹配。根据不同臭氧配置，现场匹配PLC制氧变压吸附控制。实现臭氧功耗，制氧功耗，臭氧浓度，制氧浓度，干燥气量之间的综合匹配。避免传统制氧臭氧配套中经常发生的制氧功率消耗过大问题。由臭氧发生器制备好的臭氧气体通过管道输送到密闭的臭氧接触池,与处理后的污水进行接触反应。

2、分子筛干燥机：采用自主研发生产，德国西门子PLC过程控制的分子筛干燥机。和冷干机，普通吸附式干燥机相比，冷却深度更高。气体干燥程度可达-70℃。采用100%分子筛分离水分和空气，不添加再生力差的氧化铝、吸附硅胶。A、B干燥分子塔采用PLC均压和保压措施，保证干燥空气出口压力高。空气损耗小，仅有5%空气损耗。降低了整个系统的能耗。每个单体设备***．和高浓度臭氧水一体机相比，每个部件可以***运输。

空气或氧气中的水分对臭氧产生不利影响。会降低臭氧浓度。山美水美自己研制编程的分子筛干燥机，100%使用选好的分子筛干燥技术。避免使用氧化铝、吸附硅胶等低效，再生力差的干燥剂。并采用山美水美独有的干燥机PLC编程控制技术，可以实现气体干燥程度高-70℃。放电体全部进行20KV冲压测试，耐高强度的机械冲击和热电冲击，并具有强的氧化性。

垃圾渗滤液取自国内某垃圾卫生填埋场,外观为黑色不透明液体,有恶臭,CODCr值为2.91×104m g/L.活性污泥为实验室已有污泥,为适应垃圾渗滤液的处理,进行了进一步驯化,驯化方法采用文献[7]提供的方法,驯化时间为10 d.臭氧发生器为天津兴路水科技公司生产的XL-402型,臭氧产量为5 g/h.垃圾渗滤液生物处理出水在具砂芯玻璃层析柱中进行臭氧氧化,分别测定氧化出水的CODCr和BOD5值,然后采用GC-M C技术对臭氧氧化前后的样品进行初步检测.