原理：低压吸附真空解吸，在低压条件下将空气中的氮气氧气吸入，吸附饱和后分子筛在真空的条件下解吸，将氮气从排放口排放，氧气进入提纯系统，分子筛不断的吸附解压从而循环制得纯度较高的氧气（90～95%）。与PSA相VPSA能耗较低，制氧设备越大其能耗越低。5小时），即可得到机械设备和建筑物体表面沉降菌落彻底杀灭的作用，达到化学熏蒸大消毒的效果。

技术指标

◆产品规模：100-10000Nm3/h

◆氧气纯度：≥90-94%，可根据用户要求在30-95%范围内调整。

◆制氧电耗：氧纯度在90%时，折合为纯氧的电耗为0.32-0.37KWh/ Nm3

◆氧气压力：≤20kpa（可增压）

◆年开功率：≥95%

青岛中通臭氧自己研制编程了制氧机PLC控制，采取了臭氧制氧现场匹配。根据不同臭氧配置，现场匹配PLC制氧变压吸附控制。实现臭氧功耗，制氧功耗，臭氧浓度，制氧浓度，干燥气量之间的综合匹配。避免传统制氧臭氧配套中经常发生的制氧功率消耗过大问题。3、设备内制氧机以美国进口沸石分子筛为吸附剂，用变压吸附法（PSA）将空气中的氧气与氮气分离，并滤除空气中的***物质，从而获取高纯度的氧气，并大大提高臭氧产量、纯度和效率。

2、分子筛干燥机：采用自主研发生产，德国西门子PLC过程控制的分子筛干燥机。和冷干机，普通吸附式干燥机相比，冷却深度更高。气体干燥程度可达-70℃。采用100%分子筛分离水分和空气，不添加再生力差的氧化铝、吸附硅胶。A、B干燥分子塔采用PLC均压和保压措施，保证干燥空气出口压力高。空气损耗小，仅有5%空气损耗。降低了整个系统的能耗。其投加浓度取决于污水中的物质组成和要求达到的效果，一般由小试决定。

空气或氧气中的水分对臭氧产生不利影响。会降低臭氧浓度。山美水美自己研制编程的分子筛干燥机，100%使用选好的分子筛干燥技术。避免使用氧化铝、吸附硅胶等低效，再生力差的干燥剂。并采用山美水美独有的干燥机PLC编程控制技术，可以实现气体干燥程度高-70℃。臭氧发生器采用空气源，气体的前期处理结构庞杂，结构比氧气源臭氧发生器至少大3倍，耗电相应增加，***终导致成本增加，维护费用增加。

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臭氧发生器采用氧气源是臭氧技术的一个重大进步。和采用空气源相比，氧气气源使臭氧发生器臭氧功能发生巨大变化。

　　氧气源 使臭氧出口浓度提高 8-10 倍。 空气源臭氧发生管出口浓度高为 9-11mg/L, 低小于 1mg/L 。而采用氧气，出口浓度可达 80-130mg/L 。

　　氧气源 使臭氧杀菌或氧化能力大大提高。 高浓度氧气产生高浓度臭氧。从而使臭氧杀菌或氧化能力大大提高。有些***病毒用空气源臭氧很难，采用氧气源臭氧就很容易。有些化合物只有采用氧气源臭氧才能氧化