当施加的电压达到气体的点火电压时，气体被分解，产生包括电子、各种离子、原子和自由基的混合物。虽然放电时电子温度很高，但重粒子温度很低，整个系统处于低温状态。电催化技术降解污染物是利用高能电子、自由基等这些活性粒子在极短的时间内分解污染物，然后进行各种后续反应，达到降解污染物的目的。

等离子体是物质存在的第四种状态，除了固体、液体和气体。它具有宏观电中性和高导电性。等离子体包含大量的活性电子、离子、激发态粒子和光子。这些活性粒子与气体分子碰撞的结果是产生大量强氧化性自由基，有机分子被这些强氧化性物质氧化，降解为CO2和H2O。

热***是目前应用比较广泛也是研究较多的有机废气治理方法 ,特别是对低浓度有机废气 ,有机化合物的热***可分为直接火焰燃烧和催化燃烧。直接火焰燃烧是一种有机物在气流中直接燃烧和辅助燃料燃烧的方法。多数情况下,有机物浓度较低 ,不足以在没有辅助燃料时燃烧。直接火焰燃烧在适当温度和保留时间条件下 ,可以达到 99%的热处理效率。


高能离子体还有去除空气中的灰尘颗粒、***、花粉、病毒、孢子等污染物的作用。去除颗粒污染物放电产生的等离子体中包含有大量的电子和正负离子，它们在电场梯度的作用下，与空气中的颗粒污染物发生非弹性碰撞，从而附着在上面，使之成为荷电离子，若外加电场，可被集尘极收集。这一过程对悬浮于空气中直径小于100 微米的颗粒和直径小于 10 微米的可吸入颗粒有较高的清除效果。