微电子技术中使用的超纯气体有几十种，除氧、氢、氮、二氧化碳、等常见气体外，还有烷、三氯化硼、、四氟化碳等自然界不存在的气体。所用化工产品的纯度对半导体成品的影响很大。使用工业气体时，成品率只有10%；使用含杂质小于10ppm的气体和相应的高纯化学剂时，则成品率可提高到70%～80%。例如，等，过去以电石为原料，这时改用氧氯化法以乙烯生产，用氨氧化法以生产。1951年，以为原料，用蒸汽转化法得到及氢，使得到重视。

化工原料的分类：

　　化工网专门认为化工原料一般可以分为有机化工原料和无机化工原料两大类：有机化工原料可以分为烷烃及其衍生物、烯烃及其衍生物、炔烃及衍生物、醌类、醛类 、醇类、酮类 、酚类、醚类、酐类 、酯类、有机酸、羧酸盐、碳水化合物 、杂环类、腈类 、卤代类 、胺酰类、其它种类;无机化工原料可以分为无机酸、无机碱、无机盐、氧化物、单质、工业气体和其它种类。

　甲醛：纯品是无色液体，普通品是无色至淡***液体。有苦杏仁气味，微溶于水，与乙醇、、苯和混溶。不稳定，遇空气逐渐氧化为苯甲酸，还原可变为苯。能与蒸汽一同挥发。　　六次四胺：无色液体。密度0.6817，沸点：61.5—62℃，不溶于水。用于制合成橡胶、合成树脂、香料、染料、等。氧化铁红：有防锈作用，做防锈颜料。