微电子技术中使用的超纯气体有几十种，除氧、氢、氮、二氧化碳、等常见气体外，还有烷、三氯化硼、、四氟化碳等自然界不存在的气体。所用化工产品的纯度对半导体成品的影响很大。使用工业气体时，成品率只有10%；使用含杂质小于10ppm的气体和相应的高纯化学剂时，则成品率可提高到70%～80%。例如，等，过去以电石为原料，这时改用氧氯化法以乙烯生产，用氨氧化法以生产。1951年，以为原料，用蒸汽转化法得到及氢，使得到重视。

用于吸收氯化的填充装置，煅烧原料和半成品的旋转炉，以及浓缩、结晶、过滤等用的设备，逐渐运用于其他化工企业，为化工单元操作打下了基础。吕布兰法于20世纪初逐步被索尔维法取代。19世纪末叶出现电解的。这样，整个化学工业的基础——酸、碱的生产已初具规模。***60年代以来，大规模集成电路和电子工业迅速发展，所需电子计算机的器件材料和信息记录材料得到发展。60年代以后，多晶硅和单晶硅的产量以每年20%的速度增长。80年代周期表中～V族的二元化合物已用于电子器件随着半导体器件的发展，气态源如（PH）等日趋重要。

有机化工纺织工业发展起来以后，天然染料便不能满足需要；随着钢铁工业，炼焦工业的发展，副产的煤焦油需要利用。化学家们以有机化学的成就把煤焦油分离为：蒽、菲等。1856年，英国人由合成紫染料，后经过剖析确定天然茜素的结构为二羟基蒽醌，便以煤焦油中的蒽为原料，经过氧化、取代、水解、重排等反应，在大规模集成电路制备过程中，需用多种，其杂质含量小于1ppm，对水分及尘埃含量也有严格要求。