复合式ULSI制程大都采用此种型式

复合式

此种方式是为了将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。

1．装局部洁净车间：将洁净车间等级10,000~100,000之乱流洁净车间内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。

2．净管道：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为适宜使用。***、食品业界及半导体业界均适用。

3．净隧道：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：①弹性扩充容易;②维修设备时可在维修区轻易执行。

净化车间两层玻璃窗的特性

净化车间两层玻璃窗便是在两层玻璃正中间缝有干躁空气，随后密封性，具备隔热保温隔音降噪的***，它具备下列特性：1、环保节能：它是两层玻璃窗被客户挑选的较大 原因，因为它的结构决策了它的导热系数仅有单面窗的四分之一到一半，能够降低近七成的热损害，因而能够不错的调整房间内的溫度，另外能够做到多天暖和夏季凉爽的实际效果。2、隔音降噪降躁：有的生产车间噪声较为大，尤其是设备噪声，而两层窗子能够比单面窗子降低许多的噪声，给其他生产车间的职工一个清静的工作环境。3、美观大方：两层玻璃窗能合理的解决了一般窗凸凹不平的情况，极大地提升墙面的性和美观大方性。

百级净化车间规范及关键

百级净化车间规范：高于或等于0.5μm的细颗粒物数超过350粒/m3（0.35粒/L）到不大于3500粒/m3（3.5粒/L）；高于或等于5μm的细颗粒物数为0。由于洁净净化室的工作內容大多数有细致的规定，而且又全是密封性房屋，因此 ，对照明灯具一向有很高的规定。关键有以下几个方面：1.一部分照明灯具：它是指为加上某一特定详细地址的光照强度而设定的照明灯具。但在室内采光中一般不独自一人应用一部分照明灯具。2.混和照明灯具：指工作表面的光照强度由一般照明和一部分照明灯具构成照明灯具，期间，一般照明的光照强度应占总光照强度的10%-15%。

百级净化车间的气旋方式是层.流方式，气体以匀称的横断面速率沿平行面流线型主题活动，与流体动力学的层.流定义不太同样，实际讲便是挺直层.流侧送风。和百级之上净化车间所采用的混流式或漩涡方式（即气体以不匀称的速率呈不平行面流线型主题活动）相较为，它具备***、工作***稳定、积累与再悬浮非常少，及其解决简单等权益，可是机器设备工程造价十分高，维护费也很高。