工业废气处理设备的低温等离子体污染物降解方法是利用废气中这些高能电子、自由基等活性粒子和污染物的作用，在很短的时间内分解污染物分子，并产生反应，达到降解污染物的目的。低温等离子体空气净化设备还可用于消毒灭菌。低温等离子体技术是一种全新的净化工艺，不但不需要任何添加剂，也不会产生废水和废渣，更不会造成二次污染。

（5）UV光解法

通过采用UV-D 波段内的真空紫外线（波长范围 170-184.9nm），***有机废气分子的化学键，使之裂解形成游离状态的原子或基团（C*、H*、O*等）；同时通过裂解混合空气中的氧气，使之形成游离的氧原子并结合生成臭氧【UV＋O2→O-+O＊(活性氧) O+O2→O3(臭氧)】。具有强氧化性的臭氧（O3）与有机废气分子被裂解生成的原子发生氧化反应，形成 H2O 和 CO2。整个反应过程不超过 0.1 秒，净化效果与废气分子的键能、废气浓度以及含氧量有关。整个净化过程无需添加任何化学助剂或者特殊限制条件。

4 技术性能及特点

A、该设备设计原理***，用材，性能稳定，操作简单，，无二次污染。设备占地面积小、重量较轻。

B、采用的吸附材料——蜂窝状活性炭孔隙大，吸附能力好。

C、催化燃烧室采用陶瓷蜂窝体的催化剂，阻力小，用低压风机就可以正常运转，不但耗电少而且噪音低。

D、催化燃烧装置的风量是废气源风量的十分之一，同时废气浓度达到自燃时可不需继续加热，节约能源。

E、吸附有机物废气的活性炭，可用催化燃烧处理废气产生的热量进行脱附再生，脱附后的气体再送催化燃烧室净化，净化后的气体经换热器进行能量回收，不需要外加能量，运行费用低，节能。