杂质捕获仪
食品在加工过程中,有时会混入一些金属杂质(如螺钉、螺母、大头钉、订书钉、铁屑等),由于这些金属杂质的存在,不仅会损坏机械设备,影响食品生产的质量,甚至会***于人们的健康。为确保食品的安全,必须予先将这些金属杂质检测出来。高灵敏度***具有这样的功能,能够自动探测糖果、饼干、面包等食品中是否混杂着金属杂质,当被检测食品放在传送带上,或某种运行的滑板上,通过探头时,若食品中含有0.0011克一。、.02克的金属杂质,便能产生信号,使继电器动作,发出告警信号,控制电机使传送带或成型机停下来,以实现探测过程的自动化。
电子气体中金属杂质的捕集
电子工业用气体统称电子气体,指在半导体及其它电子产品生产过程中所用到的高纯度气体,是微纳电子制造***安全战略产业的关键支撑材料,其广泛应用于大规模集成电路、液晶显示器、多晶硅和薄膜太阳能电池、新型电光源、光电半导体器件以及光纤通讯器件等电子行业 [1] [2] [3]。表1为一些电子工业生产中所常用到的高纯气体 [3]。
近年来,随着微纳电子***制程向大尺寸、窄线宽、高集成度、高均匀性和高完整性发展,对电子气体的纯度和一致性要求越来越高,除了应具有5 N (99.999%)以上纯度,还要求电子气体中的H2O、气体杂质(如O2、CO2、CO、CH4等)和金属杂质(如Al、Cr、Cd、Cu等)的指标达到ppb (10?9)至ppt (10?12)数量级,气体的品质要求高度稳定且一致。电子气体的纯度对于半导体器件的质量与成品率影响很大,尤其是气体中的金属杂质,是使半导体产生漏电、晶格缺陷和断线的主要原因
溶液吸收法
溶液吸收法是指使样品气通过吸收液,使得样品中的金属杂质集到溶液中 [12]。该方法作为一种常用的气体样品捕集方法,适用于与吸收液进行化学反应或吸收液对其有强溶解性的气体样品。由于各类气体化学性质的差异,寻找合适的吸收液是该方法采样的关键。此外,由于样品气的完全水解,捕集后的溶液呈强酸、强碱性或生成沉淀物。因此,需要进行基体分离才能进行金属杂质测定。
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