输配管道洁净技术的一般概念。高纯、洁净气体体输送配管道，是指对输送气体的“三度”有一定的要求或控制。

气体纯度：气体中杂质气氛的含量，通常用气体纯度的百分数来表示，如99.9999%,也用杂质气氛含量的体积比ppm 、ppb、 ppt表示。干燥度：气体中微量水分的含量，或称之为湿量，通常以表示，如常压-70℃。

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对于特殊气体来讲，气体品种多，******气体多，原来是一机台配一气柜，高昂的装备组合和维修费用大大增加了***成本，且有的还布置在工艺间内，存在着泄漏的安全隐患

现在广泛采用集中供气系统，气柜集中，自控系统不断完善，其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟，特气间也与工艺间隔离，并对房间有防爆要求，工作的安全性大大提高 。

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混合气体生产厂家控制粒子污染的重要性  ，下面就由【 郑州丰之茂工业气体有限公司 】带大家了解一下吧。

在集成电路生产、实验部门已经有所认识，同时，实践已向人们表明，气体的粒子可造成微电子产品的短路或断路，改变半导体材料的电性能，也可以***其晶格结构，影响印刷板的等等。

一等二看三落空，一想二干三成功。-- 郑州丰之茂工业气体有限公司

由于混合气体生产厂家的使用地点、性质、状况（如温度、压力等）都不完全一致，所以，如何确定高纯气体的“三度”（纯度、干燥度、洁净度），还没有一个严格而明确的概念。

对于纯度和干燥度的控制，我国CBJ73—84《洁净厂房设计规范》中指出，“高纯气体系指纯度大于或等于99.9995%，含水量小于5ppm气体。

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