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氮气要用受压钢瓶贮装，液氮要用绝热容器、槽车贮运。氮无腐蚀性，在常温下可使用碳钢、不锈钢、铜、铜合金、铝等通用金属材料和普通的塑胶材料。对液氮可使用镍钢(90%Ni)、不锈钢、铜、黄铜和硅青铜。在低温下可使用聚四氟乙烯和聚三氟聚合体。

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通常，粒子的粒径小到1微米的十分之几，便可造成断路。所以，防止粒子污染，在微电子技术中是十分严格的。

迄今，在纯净气体应用技术中，对于大流量高纯气体输送系统，美国已有输送含0.1μm以上粒子，每立方英尺气体中不超过10个的能力；它还为几个系统输送含有0.02μm以上粒子的气体，其粒子数每立方英尺不超过10个。

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高纯气体（如氮气、氧气等）在各行各业的应用十分广泛，不同的应用对高纯气体的纯度要求也有所不同。在实验研究领域，由于要保证实验研究结果的准确性，对高纯气体的纯度要求非常严格。

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